工信部推廣國產(chǎn)DUV光刻機(jī),最小套刻精度≤8nm
大半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)網(wǎng)消息,自中華人民共和國工業(yè)和信息化部官網(wǎng)獲悉,日前,工信部宣布印發(fā)《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024 年版)》。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202409/462993.htm其中,在《首臺(套)重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄(2024年版)》電子專用裝備目錄下,集成電路設(shè)備方面包括:氟化氬光刻機(jī),光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
在“工信微報”官方公眾號中提到,重大技術(shù)裝備是國之重器,事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術(shù)裝備是指國內(nèi)實現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品,包括整機(jī)設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。該文件的發(fā)布旨在促進(jìn)首臺(套)重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用,加強(qiáng)產(chǎn)業(yè)、財政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同。
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