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          BluGlass通過(guò)RPCVD技術(shù)減少GaN膜生長(zhǎng)雜質(zhì)

          作者: 時(shí)間:2013-05-11 來(lái)源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
          澳大利亞的公司聲稱(chēng)使用他們的低溫遠(yuǎn)程等離子體化學(xué)氣相沉積(RPCVD)技術(shù)可以產(chǎn)生理想純度的氮化鎵(GaN)。該公司說(shuō),他們的可以產(chǎn)生低含量的碳、氫和氧雜質(zhì)的氮化鎵,其雜質(zhì)含量程度可以與金屬有機(jī)物氣相沉積的GaN層相媲美。

            知名且獨(dú)立的材料特性公司Evans Analytical Group采用了二次離子光譜學(xué)予以證明,的技術(shù)可以將碳、氫和氧雜質(zhì)的水平控制在每立方厘米為1*1017個(gè)原子以下。

            現(xiàn)在計(jì)劃對(duì)p-GaN層進(jìn)行優(yōu)化,并將RPCVD的優(yōu)點(diǎn)介紹給顧客,包括該技術(shù)跟傳統(tǒng)的MOCVD 相比所獲得的LED設(shè)備效率的提高。

            BluGlass的CEO Giles Bourne說(shuō):“這一成果對(duì)于我們公司來(lái)說(shuō)是一個(gè)突破,也是給業(yè)界和未來(lái)顧客證明我們技術(shù)實(shí)力的關(guān)鍵一步。眾所周知,碳和氧抑制了的障礙,所以這兩種雜質(zhì)的降低將是一個(gè)重要的發(fā)現(xiàn)。



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