ADXL203型雙軸加速計(jì)在傾斜度測(cè)量的應(yīng)用

　　1 概述

　　美國(guó)模擬器件公司(ADI)憑借其獨(dú)特的iMEMS(集成MEMS)工藝將傳感器單元和信號(hào)調(diào)理電路集成在一片芯片上，不僅減小器件尺寸、降低功耗和節(jié)省成本，同時(shí)提高性能和定制生產(chǎn)能力。ADXL203是一款高精度、低功耗及單一的iMEMS型雙軸加速計(jì)，具有信號(hào)可調(diào)的電壓輸出。輸出量為一個(gè)與加速度成比例的模擬電壓信號(hào)，比例系數(shù)達(dá)到1 000 mV／g。該加速計(jì)既可測(cè)量動(dòng)態(tài)加速度，又可以用來(lái)實(shí)現(xiàn)諸如重力加速度的靜態(tài)測(cè)量，此時(shí)可以替代傾斜角傳感器進(jìn)行傾斜測(cè)量。

　　2 性能特點(diǎn)

　　ADXL203典型測(cè)量范圍為1.7 g，該加速計(jì)既可測(cè)量靜態(tài)加速度可測(cè)量動(dòng)態(tài)加速度，承受3 500 g極限加速度。其下拉電流小于700 μA，靈敏度達(dá)到1 000 mV／g。該加速計(jì)在-40℃～125℃溫度范圍內(nèi)，具有0.3％的溫度靈敏性；+25 mg的零點(diǎn)偏移精度；在小于60 Hz的帶寬下具有小于1 mg的解決方案(0.06傾斜)以及優(yōu)于0.1 mg／℃穩(wěn)定性。采用5mm5 mm2 mm的LCC封裝。ADXL203的引腳排列及引腳功能分別如圖1和表1所示。

　　3 工作原理

　　ADXL203內(nèi)部電路框圖如圖2所示。傳感器輸出幅值與所測(cè)加速度成正比的方波信號(hào)，經(jīng)過(guò)信號(hào)交流放大、相敏檢波、低通濾波，得到與加速度成比例的電壓信號(hào)。