Edwards新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能

　　Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節(jié)省更多成本。

　　Edwards公司 TMP產(chǎn)品營銷經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards最新的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和成熟且高度可靠的iXA系列機(jī)載控制器，使容許通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數(shù)量減至最小，尤其是在太陽能和平板應(yīng)用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨(dú)立控制器機(jī)架的需求，因而也節(jié)省了成本，體積緊湊易于在各種應(yīng)用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機(jī)械軸承的特性幾乎免除了定期維護(hù)的成本。”

　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達(dá)4300 sccm N2)結(jié)合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應(yīng)用，包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設(shè)計(jì)包括一個(gè)完全密封的電子模組，以在最嚴(yán)苛的工廠環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的操作。需要時(shí)還可增加一套加熱系統(tǒng)，以減少來自工藝過程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。