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          Edwards新型大容量渦輪分子真空泵最大化提升性能
          
						
          —— 尖端技術(shù)改進(jìn)氣體流動能力和高溫管理，以防止粉末沉淀
          
						
          
				作者：
				時間：2014-02-14
				來源：電子產(chǎn)品世界
				
				
				
				
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          　　Edwards有限公司(Edwards Limited)是一家全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相關(guān)增值服務(wù)提供商，該公司日前推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產(chǎn)品旨在為半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池板制造商節(jié)省更多成本。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/221549.htm

          　　Edwards公司 TMP產(chǎn)品營銷經(jīng)理Shinichi Yoshino 表示：“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards最新的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和成熟且高度可靠的iXA系列機(jī)載控制器，使容許通過的氣量最大化，從而使高流量過程所需的渦輪泵數(shù)量減至最小，尤其是在太陽能和平板應(yīng)用中。泵集成的控制器免去了對線纜和獨(dú)立控制器機(jī)架的需求，因而也節(jié)省了成本，體積緊湊易于在各種應(yīng)用中快速安裝。此外，就像我們所有的磁浮式渦輪泵一樣，無需機(jī)械軸承的特性幾乎免除了定期維護(hù)的成本?！?/p>

          

          　　這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達(dá)4300 sccm N2)結(jié)合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力，使STP-iXA4506非常適用于許多不同的大流量、高流動性應(yīng)用，包括半導(dǎo)體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設(shè)計(jì)包括一個完全密封的電子模組，以在最嚴(yán)苛的工廠環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱系統(tǒng)，以減少來自工藝過程中副產(chǎn)物的沉積物和微粒的堆積。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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            			            Edwards
                        渦輪泵
                        太陽能
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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