晶體硅太陽能電池激光邊緣絕緣化處理

　　伴隨著晶體硅太陽能電池產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)步發(fā)展，激光一直被認(rèn)為是提高電池質(zhì)量和降低制造成本的重要工具。激光加工在諸如激光燒蝕電極（LFC）、激光刻槽掩埋柵電極（LGBC）、以及M/EWT等應(yīng)用增長(zhǎng)顯著，目前在晶體硅太陽能電池制造中應(yīng)用最廣泛的激光工藝之一是激光邊緣絕緣處理。

　　c-Si電池制造過程中N型離子摻雜/擴(kuò)散到P型硅基體形成微米級(jí)的N型摻雜膜層，這個(gè)膜層包圍了整個(gè)晶圓片，從而造成了電池前后兩面電極的分流，為了避免分流就必須對(duì)電池邊緣進(jìn)行絕緣化處理。

　　典型的激光邊緣絕緣化處理是通過在盡可能靠近太陽能電池外緣的周圍進(jìn)行刻劃溝槽來實(shí)現(xiàn)。為了獲得最佳的絕緣效果，溝槽的深度必須大于離子擴(kuò)散層，典型的溝槽深度為10-20um，寬度為20-40um。盡管Spectra-Physics激光器產(chǎn)品中有眾多型號(hào)能勝任絕緣處理工作，但是加工速度最快，質(zhì)量最高的還是最新的調(diào)Q全固態(tài)激光器系列，其中首選為Pulseo 355-20。

　　355nm短波長(zhǎng)，23ns的短脈沖寬度使得Pulseo激光器是太陽能電池絕緣化處理的理想選擇。實(shí)驗(yàn)室測(cè)試證明結(jié)合高速掃描檢流技術(shù)，Pulseo 355-20在1-2秒內(nèi)可以絕緣156mm的晶圓片，集成加工設(shè)備后，有賴于良好光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)（光斑等）絕緣劃片的速度可望達(dá)到500-1000mm/sec或者更高。

　　由于短的脈沖寬度，與355nm短波長(zhǎng)造成的硅片作用深度淺等因素造就了Pulseo紫外激光器的高精度絕緣劃線。作為另外的選擇532nm激光也可用于絕緣劃線，并且同樣保持著高速度與高質(zhì)量。

　　對(duì)于綠光，我們提供Pulseo 532-34，高功率的調(diào)Q激光器。當(dāng)結(jié)合電流掃描儀，既能獲得高速拐彎與最少的燒蝕。120kHz重復(fù)頻率下極高的功率和穩(wěn)定、優(yōu)異的性能使其在很小的聚焦光斑下也能獲得平滑均勻的刻劃線。總之，Pulseo 532-34的短脈沖寬度結(jié)合高峰值功率和高重復(fù)頻率帶來干凈高效的激光絕緣化劃線效果。

　　太陽能電池邊緣絕緣處理推薦產(chǎn)品：Pulseo激光器

　　Pulseo系列激光器延續(xù)了Spectra-Physics全固態(tài)調(diào)Q激光器高功率、高重復(fù)頻率的優(yōu)秀品質(zhì)，擁有高峰值功率、短脈寬與嚴(yán)格的制造標(biāo)準(zhǔn)，是高精度加工工業(yè)應(yīng)用的理想選擇。