MEMS加速計校準提升工業(yè)應用中的精度
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電源誤差：某些精度要求將要求對電源變化的影響進行特性化。當需要時，可以在不同的電源電平上采用相同的四點跌落測試，來采集合適的曲線擬合所需的數(shù)據(jù)。曲線擬合的復雜度與精度目標和誤差自身的性質(zhì)無關。結(jié)果將是一系列用于每個電源條件的校準系數(shù)。
溫度誤差：為了在溫度變化時保持１％的誤差，應該考慮用于靈敏度和偏移的溫度系數(shù)。
靈敏度＝0.3%(典型范圍，-40°C到+125°C)
偏移=0.1mg/°C(典型值)
對于快速估計，這些值可以翻倍(假設２倍)并結(jié)合下式：
溫度的綜合誤差為：
在應用中，工業(yè)系統(tǒng)在工作條件方面的變化將影響MEMS加速計的偏置和靈敏度。最常見的影響這些特性的工作條件是電源電壓和環(huán)境溫度。電源電壓的變化范圍可能高達10%，而每套工業(yè)系統(tǒng)有其自身的溫度范圍要求。
如果工作條件引起的變化超出了系統(tǒng)性能的許可范圍，則需要在多種工作條件下執(zhí)行四點跌落測試，目的是繪制誤差特性，并生成校準系數(shù)表。這些系數(shù)的最終完成就像下圖中所示那樣。這種情況下的校準表中有三個變量，其中包括一組用于工作條件超差的變量，這些可以用于頻率響應或者各種其他條件。
校準信號流
在部署加速計校準功能過程中最為重要的是建立有價值的性能目標。對于本文中指出并討論的風險區(qū)域，開發(fā)商應知道校準并非隨意的，但還是有大量的增值機會，如果最終目標明確的話。實際上，研發(fā)性能目標不僅局限在工程領域，而是要考慮到進度風險(損失收入)，性能風險(達不到客戶要求)以及成本過高風險(丟失市場)等。盡管性能的影響是基本的，但還要考慮實現(xiàn)該性能并一直到校準所需的投資，所有這些都有助于工程師做出更好的綜合決策，因為他們所考慮的問題是一個永恒的問題-即制造與購買的關系。
針對成本和性能的改善預期來說，通過與現(xiàn)成的商用解決方案-如ADI公司的ADIS16201全校準的雙軸加速計/磁傾計進行比較后，自然會發(fā)問，研發(fā)一個定制校準和工藝所冒上述風險是否值得？相信文中所述內(nèi)容將有助于針對各種情況來回答這個問題。
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