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          德國開發(fā)出可耐高溫的新型微芯片
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2014-05-22
				來源：中國科學(xué)報(bào)
				
				
				
				
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          　　在地?zé)嵘a(chǎn)和石油生產(chǎn)過程中溫度通常會(huì)超過200℃，高于設(shè)備所用的傳統(tǒng)微芯片一般能耐受的最高溫度。德國弗勞恩霍夫微電子電路與系統(tǒng)研究所(IMS)的研究人員近日開發(fā)出一種新型的高溫工藝，可以制造出超緊湊型微芯片，這種微芯片在高達(dá)300℃的溫度下也能正常工作。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/247248.htm

          

          　　傳統(tǒng)的CMOS芯片有時(shí)能耐受250℃的高溫，但其性能與可靠性會(huì)迅速下降。還有一種方法是對熱敏感的微芯片實(shí)施持續(xù)冷卻，但是很難實(shí)現(xiàn)。此外，市場上也存在專門的高溫芯片，但是尺寸過大(最小尺寸也達(dá)1微米)。
          

          

          　　IMS開發(fā)的微芯片尺寸僅有0.35微米，遠(yuǎn)小于現(xiàn)有的高溫芯片，且依然保持著應(yīng)有的功能。
          

          

          　　為開發(fā)出耐熱微芯片，研究人員采用了一種特殊的高溫硅絕緣體(SOI)CMOS工藝，通過絕緣層來阻止影響芯片運(yùn)作的漏電電流的產(chǎn)生。此外，研究人員還使用了金屬鎢，其溫度敏感性低于常用的鋁，從而延長了高溫芯片的工作壽命。
          

          

          　　除了用于地?zé)崮?、天然氣或石油生產(chǎn)外，該微芯片還能用于航空業(yè)，例如放置于盡可能靠近渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)的位置，記錄其運(yùn)行狀態(tài)，確保其更有效、更可靠地運(yùn)行。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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          關(guān)鍵詞：
            			            微芯片
                        CMOS
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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