半導體業(yè) 重視EHS管理體系成趨勢

　　如果半導體、面板、印刷電路板等企業(yè)對環(huán)境保護、工業(yè)安全缺乏足夠重視，各家生產線所產生的廢棄物將對外圍自然環(huán)境造成難以挽回的負面影響，工業(yè)安全意外也將在自家廠房內頻繁發(fā)生。這正是EHS(環(huán)境、健康、安全)管理體系日漸受到相關企業(yè)重視的主要原因。

　　創(chuàng)新打造綠色產業(yè)鏈

　　半導體制程極為繁復，多達數(shù)百道工序，每個步驟的制程設備若在設計時，便考慮到能源和原料節(jié)省，以及減少排放的廢料，將會比起產生出廢氣和廢水后再處理，更能提高環(huán)保效率。這也是為什么需要產業(yè)鏈上下游整體共同進行規(guī)劃，從生產兼顧環(huán)保，走向綠色制程，提高綠色競爭力。記者采訪中發(fā)現(xiàn)，作為國內半導體制造業(yè)巨頭之一，中芯國際在打造綠色產業(yè)鏈方面做出了許多有益的嘗試，將環(huán)境保護和安全延伸到設備設計和制程規(guī)劃階段，同時對供應鏈也設立同等環(huán)境質量安全標準，比如北京廠B2FAB的整個建設都遵循LEED認證過程。

　　中芯國際還一直致力于通過創(chuàng)新手段來促進節(jié)能環(huán)保及清潔生產。在半導體生產企業(yè)中，制冷機系統(tǒng)大多采用敞開式運行，產生了大量的余熱。而由于芯片生產中，又需要用到純水清洗，需要花費大量的蒸汽來加熱自來水。中芯國際自主研發(fā)了一套冰機熱回收系統(tǒng)，在冰機背后設置了一塊類似于擋熱板的裝置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來加熱自來水。這套裝置能將自來水從10℃加熱到22℃，每年可節(jié)省市政蒸汽2.32萬噸，折合標煤1994噸。該技術已經獲得國家專利。

　　中芯國際十分重視生產工業(yè)安全，公司ESH部門制定并實施了“SMIC環(huán)境保護暨安全衛(wèi)生政策”，強調“預防環(huán)境污染、善用資源能源、保護人力資源和防范事故損失”，并通過廠區(qū)責任和評分制使中芯國際在過去的3年里百人可記錄工傷率持續(xù)降低。在2013年，百人可記錄工傷率降低到0.01，已經低于同行業(yè)的最高標準。

　　重視EHS成趨勢

　　重視EHS管理體系是半導體產業(yè)的未來趨勢。中芯國際CEO邱慈云對記者表示：“我們在生產和運營中必須時刻把我們的社區(qū)、環(huán)境、后代考慮進去。我們絕對不會把損害環(huán)境和危害安全作為追求利潤的代價?！?/p>

　　面對北京水資源嚴重缺乏的現(xiàn)狀，中芯國際在公司籌備初期就將水資源回收與節(jié)能等先進的設計理念融于全廠的規(guī)劃設計中。根據(jù)廠區(qū)實際狀況規(guī)劃了雨水回收系統(tǒng)，用于收集建筑屋頂與路面的雨水，并將過濾處理后的雨水重新用于綠地的灌溉。中芯國際公司的雨水回收系統(tǒng)于2004年7月投入使用以來，廠區(qū)綠地灌溉用水得到節(jié)約，截至目前，該系統(tǒng)共收集到9.7萬噸雨水。另外，2012年北京廠通過自然冷卻系統(tǒng)，利用冬天室外冷空氣進行冷熱交換，4個月內共節(jié)約電力561萬千瓦時;2013年天津廠節(jié)約電力351萬千瓦時。