半導(dǎo)體業(yè) 重視EHS管理體系成趨勢(shì)

　　如果半導(dǎo)體、面板、印刷電路板等企業(yè)對(duì)環(huán)境保護(hù)、工業(yè)安全缺乏足夠重視，各家生產(chǎn)線所產(chǎn)生的廢棄物將對(duì)外圍自然環(huán)境造成難以挽回的負(fù)面影響，工業(yè)安全意外也將在自家廠房?jī)?nèi)頻繁發(fā)生。這正是EHS(環(huán)境、健康、安全)管理體系日漸受到相關(guān)企業(yè)重視的主要原因。

　　創(chuàng)新打造綠色產(chǎn)業(yè)鏈

　　半導(dǎo)體制程極為繁復(fù)，多達(dá)數(shù)百道工序，每個(gè)步驟的制程設(shè)備若在設(shè)計(jì)時(shí)，便考慮到能源和原料節(jié)省，以及減少排放的廢料，將會(huì)比起產(chǎn)生出廢氣和廢水后再處理，更能提高環(huán)保效率。這也是為什么需要產(chǎn)業(yè)鏈上下游整體共同進(jìn)行規(guī)劃，從生產(chǎn)兼顧環(huán)保，走向綠色制程，提高綠色競(jìng)爭(zhēng)力。記者采訪中發(fā)現(xiàn)，作為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體制造業(yè)巨頭之一，中芯國(guó)際在打造綠色產(chǎn)業(yè)鏈方面做出了許多有益的嘗試，將環(huán)境保護(hù)和安全延伸到設(shè)備設(shè)計(jì)和制程規(guī)劃階段，同時(shí)對(duì)供應(yīng)鏈也設(shè)立同等環(huán)境質(zhì)量安全標(biāo)準(zhǔn)，比如北京廠B2FAB的整個(gè)建設(shè)都遵循LEED認(rèn)證過(guò)程。

　　中芯國(guó)際還一直致力于通過(guò)創(chuàng)新手段來(lái)促進(jìn)節(jié)能環(huán)保及清潔生產(chǎn)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)中，制冷機(jī)系統(tǒng)大多采用敞開式運(yùn)行，產(chǎn)生了大量的余熱。而由于芯片生產(chǎn)中，又需要用到純水清洗，需要花費(fèi)大量的蒸汽來(lái)加熱自來(lái)水。中芯國(guó)際自主研發(fā)了一套冰機(jī)熱回收系統(tǒng)，在冰機(jī)背后設(shè)置了一塊類似于擋熱板的裝置，而這塊“板”不但能擋住余熱的流出，還能吸收余熱，用來(lái)加熱自來(lái)水。這套裝置能將自來(lái)水從10℃加熱到22℃，每年可節(jié)省市政蒸汽2.32萬(wàn)噸，折合標(biāo)煤1994噸。該技術(shù)已經(jīng)獲得國(guó)家專利。

　　中芯國(guó)際十分重視生產(chǎn)工業(yè)安全，公司ESH部門制定并實(shí)施了“SMIC環(huán)境保護(hù)暨安全衛(wèi)生政策”，強(qiáng)調(diào)“預(yù)防環(huán)境污染、善用資源能源、保護(hù)人力資源和防范事故損失”，并通過(guò)廠區(qū)責(zé)任和評(píng)分制使中芯國(guó)際在過(guò)去的3年里百人可記錄工傷率持續(xù)降低。在2013年，百人可記錄工傷率降低到0.01，已經(jīng)低于同行業(yè)的最高標(biāo)準(zhǔn)。

　　重視EHS成趨勢(shì)

　　重視EHS管理體系是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的未來(lái)趨勢(shì)。中芯國(guó)際CEO邱慈云對(duì)記者表示：“我們?cè)谏a(chǎn)和運(yùn)營(yíng)中必須時(shí)刻把我們的社區(qū)、環(huán)境、后代考慮進(jìn)去。我們絕對(duì)不會(huì)把損害環(huán)境和危害安全作為追求利潤(rùn)的代價(jià)?！?/p>

　　面對(duì)北京水資源嚴(yán)重缺乏的現(xiàn)狀，中芯國(guó)際在公司籌備初期就將水資源回收與節(jié)能等先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念融于全廠的規(guī)劃設(shè)計(jì)中。根據(jù)廠區(qū)實(shí)際狀況規(guī)劃了雨水回收系統(tǒng)，用于收集建筑屋頂與路面的雨水，并將過(guò)濾處理后的雨水重新用于綠地的灌溉。中芯國(guó)際公司的雨水回收系統(tǒng)于2004年7月投入使用以來(lái)，廠區(qū)綠地灌溉用水得到節(jié)約，截至目前，該系統(tǒng)共收集到9.7萬(wàn)噸雨水。另外，2012年北京廠通過(guò)自然冷卻系統(tǒng)，利用冬天室外冷空氣進(jìn)行冷熱交換，4個(gè)月內(nèi)共節(jié)約電力561萬(wàn)千瓦時(shí);2013年天津廠節(jié)約電力351萬(wàn)千瓦時(shí)。