應(yīng)用材料公司推出面向3D芯片結(jié)構(gòu)的先進(jìn)離子注入系統(tǒng)

　　應(yīng)用材料公司今天宣布全新推出Applied Varian VIISta® 900 3D系統(tǒng)。作為業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的中電流離子注入設(shè)備，該系統(tǒng)專為2x納米以下節(jié)點(diǎn)的FinFET和3D NAND制程而開發(fā)，具有超凡的控制能力，可以幫助高性能、高密度的復(fù)雜3D器件實(shí)現(xiàn)器件性能優(yōu)化，降低可變性，提高良率，是應(yīng)用材料公司在精密材料工程領(lǐng)域的又一重大突破。

　　VIISta 900 3D系統(tǒng)能有效提高離子束角度精度和束線形狀準(zhǔn)確度，并且還能夠出色的控制離子劑量和均勻性，從而幫助客戶實(shí)現(xiàn)制程的可重復(fù)性，優(yōu)化器件性能。該系統(tǒng)采用獨(dú)特的熱注入技術(shù)和三重磁場結(jié)構(gòu)，可通過降低缺陷率來進(jìn)一步提高良率。憑借這些優(yōu)勢，VIISta 900 3D系統(tǒng)能勝任復(fù)雜3D結(jié)構(gòu)生產(chǎn)中所需的精確離子注入。

　　應(yīng)用材料公司維利安半導(dǎo)體設(shè)備事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理Gary Rosen表示：“為滿足消費(fèi)者對移動設(shè)備日益上升的需求，芯片制造商致力于生產(chǎn)更高性能、更低功耗的設(shè)備，同時他們也面臨著工藝日趨復(fù)雜的挑戰(zhàn)。為此，我們針對3D結(jié)構(gòu)專門開發(fā)了這款VIISta 900 3D離子注入機(jī)，通過實(shí)現(xiàn)最純凈、最精確的離子注入，提高設(shè)備性能和良率，幫助客戶應(yīng)對最嚴(yán)峻的器件挑戰(zhàn)。”

VIISta 900 3D系統(tǒng)的一個最重要的創(chuàng)新就是Superscan 3技術(shù)，它可以借助獨(dú)特的離子束形狀控制能力，根據(jù)客戶需要提供精確、精準(zhǔn)的劑量方案，能完成幾乎所有圖案，實(shí)現(xiàn)定制化的硅片劑量圖形。Superscan 3還能對非注入工藝中的變量進(jìn)行校正，從而提高3D器件的性能和良率。此外，加上該系統(tǒng)對于生產(chǎn)率的提升以及其極高的產(chǎn)出率，可為客戶帶來顯著的成本優(yōu)勢。

　　VIISta 900 3D系統(tǒng)的推出進(jìn)一步加強(qiáng)了應(yīng)用材料公司在FinFET和3D NAND設(shè)備制造領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢，其高精度、低污染的性能表現(xiàn)尤其適用于CMOS圖像傳感器二極管和邏輯層的摻雜，因此它將會在移動計(jì)算領(lǐng)域有著日益廣泛的應(yīng)用。

　　應(yīng)用材料公司(納斯達(dá)克：AMAT)是全球領(lǐng)先的精密材料工程解決方案供應(yīng)商。應(yīng)用材料公司的創(chuàng)新設(shè)備、服務(wù)和軟件被廣泛應(yīng)用于先進(jìn)半導(dǎo)體芯片、平板顯示器和太陽能光伏產(chǎn)品制造產(chǎn)業(yè)。我們的技術(shù)使智能手機(jī)、平板電視和太陽能面板等創(chuàng)新產(chǎn)品以更普及、更具價格優(yōu)勢的方式惠及全球商界和普通消費(fèi)者。欲了解更多信息，請?jiān)L問：www.appliedmaterials.com。