中國第一代半導(dǎo)體人的“匆匆那年”

　　1963年，幸勇畢業(yè)于中國科技大學(xué)技術(shù)物理系，同年分配在中國科學(xué)院上海冶金研究所工作。兩年后的春天，中國科學(xué)院為該所下達(dá)研制國產(chǎn)集成電路的任務(wù)，為國防科技服務(wù)。

　　在時下被電子產(chǎn)品“左右”的生活里，集成電路作為其核心，隱匿于產(chǎn)品中。日前，筆者接到一封讀者來信，他希望以“新中國第一塊集成電路設(shè)計工作者”的身份，紀(jì)念我國集成電路誕生50周年，信中還提及，上世紀(jì)60年代成功發(fā)射“兩彈一星”的背后，也有其團(tuán)隊設(shè)計的集成電路的身影。筆者聯(lián)系上這位讀者，聽他講述了一位老科技工作者與集成電路的故事。

　　這位讀者名叫幸勇，79歲高齡的他耳聰目明，采訪過程中不時“蹦”兩句英文講解。還沒說起集成電路，就拿出珍藏多年的集成電路樣板向筆者展示，追憶當(dāng)年研制集成電路的艱苦歷程。

　　1963年，幸勇畢業(yè)于中國科技大學(xué)技術(shù)物理系，同年分配在中國科學(xué)院上海冶金研究所工作。兩年后的春天，中國科學(xué)院為該所下達(dá)研制國產(chǎn)集成電路的任務(wù)，為國防科技服務(wù)。當(dāng)時，幸勇作為15人的研制組中的一員，被分配負(fù)責(zé)電路設(shè)計和制版。

　　“無論是設(shè)計還是制版，當(dāng)時我們國內(nèi)都沒有掌握這方面的技術(shù)?！敝谱骷呻娐沸枰娐房s微制版、光刻、外延、擴(kuò)散、真空合金化、封裝等36道工序，每一道工序?qū)ξ覀儓F(tuán)隊而言都是前所未有的挑戰(zhàn)。為了獲得技術(shù)支持，他們從國外科技期刊上尋找資料。1960年，美國發(fā)明集成電路;但受當(dāng)時政治環(huán)境影響，美國對我國實施技術(shù)封鎖。只能通過外交部門通過友好國家的渠道購買科技期刊，再轉(zhuǎn)運(yùn)到上海?！皶凰蛠?，工作人員還在影印，我就跑去借閱?！蹦玫搅丝萍假Y料，只是集成電路研制的起點(diǎn)。邏輯分析、繪制線路圖、模擬測試……反復(fù)試驗之后的研制環(huán)節(jié)，又再度遭遇技術(shù)工藝“封鎖”的挑戰(zhàn)。

　　如何把集成電路繪制圖通過微縮照相處理的方式刻制成掩模板?是幸勇反復(fù)思考的問題?！百I不到高分辨率的感光片，那就自己制作?！狈唶獬霭娴募夹g(shù)論文，提高鹵化銀顆粒的均勻度，摸索合適的制作工藝，又是一輪反復(fù)的配比試驗。累了直接躺在實驗室里休息，更多時候都是討論和試驗。而集成電路的線條細(xì)到微米甚至毫微米級，許多操作要在放大鏡下進(jìn)行，并要求環(huán)境空氣凈化。由于條件不足，成品率極低。經(jīng)過研發(fā)團(tuán)隊數(shù)月奮戰(zhàn)，終于在當(dāng)年國慶前夕，研制成功我國第一塊集成電路，向國慶16周年獻(xiàn)上了一份厚禮!計算機(jī)運(yùn)行速度從原有每秒1000多次提升至每秒百萬次以上。隨后研制成功的ECL超高速集成電路和大規(guī)模集成電路，為我國研制“兩彈一星”迫切所需的高速計算機(jī)，提供了基礎(chǔ)器件。改革開放后，幸勇所在團(tuán)隊參與制作的第一塊集成電路和超高速集成電路，還曾分別榮獲全國科學(xué)大會獎和國家科技進(jìn)步一等獎。

　　1975年，因家庭原因幸勇自愿申請調(diào)離研究所，回到家鄉(xiāng)梅州工作。而那參與集成電路研發(fā)的10多年光陰，一直在老人的回憶里閃爍。