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          ECI Technology的化學(xué)檢測系統(tǒng)成功在歐洲知名半導(dǎo)體研究中心裝載

          作者: 時間:2009-03-09 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏
                  全球領(lǐng)先的濕法化學(xué)度量技術(shù)供應(yīng)商 Technology近日宣布一家歐洲知名的半導(dǎo)體研究中心成功裝載了On-Line Quali-Line QLC-7500 Chemical Monitoring System()。 Technology將在近期舉行的SEMICON China中參展,展位號是4722。

                  QLC-7500是一臺在線分析設(shè)備,可用來監(jiān)測和控制(TSV)銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機(jī)成分和所有有機(jī)添加物的濃度。QLC-7XXX化學(xué)檢測系統(tǒng)是銅電鍍(大馬士革)工藝最常用的分析設(shè)備,全球主要的半導(dǎo)體制造商均選擇該系列設(shè)備。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/92191.htm


          關(guān)鍵詞: ECI CMS 硅通孔

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