ECI Technology的化學檢測系統(tǒng)成功在歐洲知名半導體研究中心裝載
QLC-7500是一臺在線分析設備,可用來監(jiān)測和控制硅通孔(TSV)銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機成分和所有有機添加物的濃度。QLC-7XXX化學檢測系統(tǒng)是銅電鍍(大馬士革)工藝最常用的分析設備,全球主要的半導體制造商均選擇該系列設備。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/92191.htm
QLC-7500是一臺在線分析設備,可用來監(jiān)測和控制硅通孔(TSV)銅淀積工藝。它能精確測量電鍍和填充工藝中無機成分和所有有機添加物的濃度。QLC-7XXX化學檢測系統(tǒng)是銅電鍍(大馬士革)工藝最常用的分析設備,全球主要的半導體制造商均選擇該系列設備。
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