極大規(guī)模集成電路重大專項(xiàng)進(jìn)入全面實(shí)施階段

　　3月26日，國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”推進(jìn)會(huì)在科技部召開，科技部部長(zhǎng)萬(wàn)鋼、專項(xiàng)領(lǐng)導(dǎo)小組成員單位的領(lǐng)導(dǎo)出席會(huì)議。此次會(huì)議的召開標(biāo)志著該重大專項(xiàng)已經(jīng)進(jìn)入全面實(shí)施階段。

　　據(jù)介紹，“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)面向全國(guó)廣泛征集項(xiàng)目，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的篩選及“三評(píng)兩審”立項(xiàng)程序，目前擬啟動(dòng)54個(gè)項(xiàng)目，其中，裝備整機(jī)15項(xiàng)、成套工藝11項(xiàng)、關(guān)鍵材料9項(xiàng)、關(guān)鍵技術(shù)與零部件11項(xiàng)、前瞻性研究等8項(xiàng)，總投資180多億元。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備，掌握具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù)，打破我國(guó)高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況，帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整。該重大專項(xiàng)的實(shí)施將會(huì)在整體上極大地提升我國(guó)電子制造業(yè)和裝備制造業(yè)的創(chuàng)新能力和競(jìng)爭(zhēng)力。據(jù)了解，目前該重大專項(xiàng)已經(jīng)啟動(dòng)的項(xiàng)目大多具有較好的產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ)和良好的市場(chǎng)發(fā)展前景。

　　專家認(rèn)為，在中央擴(kuò)大內(nèi)需十項(xiàng)措施和十大產(chǎn)業(yè)調(diào)整振興規(guī)劃實(shí)施之際啟動(dòng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)，是發(fā)揮科技支撐作用，促進(jìn)經(jīng)濟(jì)平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動(dòng)，對(duì)提高“擴(kuò)內(nèi)需、保增長(zhǎng)”的科技含量，從根本上實(shí)現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)、上水平”的目標(biāo)，推動(dòng)我國(guó)經(jīng)濟(jì)盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展軌道具有重要意義。