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ASMI高k設(shè)備向臺(tái)灣代工廠出貨 TEL購(gòu)買ASMI股份

作者：時(shí)間：2009-04-30 來(lái)源：SEMI

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　　ASM International透露其競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手Tokyo Electron Ltd.已收購(gòu)了其4.9%的股份。

本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/93958.htm

　　ASMI還宣布某家臺(tái)灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設(shè)備，用于28nm節(jié)點(diǎn)高k柵介質(zhì)工藝的量產(chǎn)。

　　業(yè)界猜測(cè)該代工廠是臺(tái)積電。臺(tái)積電正在開(kāi)發(fā)28nm高k金屬柵工藝，但該公司拒絕對(duì)細(xì)節(jié)進(jìn)行評(píng)論。其競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手聯(lián)電也在開(kāi)發(fā)28nm高k工藝。

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關(guān)鍵詞： 臺(tái)積電 高k

評(píng)論

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