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MEMS/NEMS表面3-D輪廓測量中基于模板的相位解包裹算法
- 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
法在復雜輪廓或包含非理想數(shù)據(jù)區(qū)的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開方法.通過模板
的使用,先將非相容區(qū)域標記出來,在相位解包裹的過程中繞過這些區(qū)域,即可得到準確可靠的相位展開結果.通過具體的應
用實例可以證明,使用不同模板可以根據(jù)不同應用的需要靈活而準確地實現(xiàn)微納結構表面3-D輪廓測量中的相位展開.
關鍵詞:MEMS/NEMS;表面 - 關鍵字: 模板 相位 包裹 算法 基于 測量 表面 3-D 輪廓 MEMS/NEMS
基于MCS-51單片機的環(huán)境噪聲測量儀
- 摘 要:介紹了一種用單片機構成環(huán)境噪聲測量系統(tǒng)的設計方法,給出了相關硬件框圖和軟件流程圖。經(jīng)校正測量誤差 ...
- 關鍵字: 環(huán)境噪聲 聲壓級 測量
測量介紹
測量的概念
所謂測量,是指用實驗的方法,將被測量(未知量)與已知的標準量進行比較,以得到被測量大小的過程;是對被測量定量認識的過程。
測量的定義
1.早期的定義:研究地球的形狀和大小,確定地面點的坐標的學科。
2.當前的定義:研究三維空間中各種物體的形狀、大小、位置、方向和其分布的學科。
測量學的內(nèi)容包括測定和測設兩個部分。測定是指使用測量儀器和工具,通過測 [ 查看詳細 ]
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