二手設備市場升溫進入新時代

　　二手設備市場迅速升溫,據(jù)Gartner最新預測,2010年比2009年增長65%, 如果計及各種供應渠道在2010年其市場規(guī)模達21億美元。盡管對于二手設備的定義有時易混淆, 直到2002年開始有眾多分散的及小型的中間商將二手設備從一個fab轉(zhuǎn)移到另一個。非常相似于房地產(chǎn)中介公司,它們在出售者與購買者之間牽線達成交易, 而它們除了時間與付出努力之外,幾乎只要少許投資。然而購買新設備與二手設備之間有很大差別, 后者通常是缺乏技術支持, 維修服務及設備的保證期。

　　隨著半導體業(yè)越來越趨成熟, 那些原始器件制造商(ODM) 開始對于二手設備有更多的需求, 所以在新設備與二手設備間關于它們的認識己經(jīng)差異并不太大?，F(xiàn)在許多半導體設備制造商如Suss Micro Tec及KLA-Tencor都有自已的二手設備部, 而且該部門日益在擴大。它們通過全球運作給予客戶有各種二手設備的選擇。

　　定義二手設備市場

　　二手設備市場可以分為OEM(原始設備制造商)銷售,fab to fab銷售, 租賃及中間商銷售及翻新設備商銷售。對于新設備的銷售實際上是起補充作用, 尤其從設備的供貨周期等考慮通常為新設備的一半時間與價格為新的40-70%。

　　從目前情況看,150mm設備主要是翻新設備市場, 二手的200mm設備開始呈上升趨勢, 至少可持續(xù)到2010年底?？尚业氖?00mm設備也開始進入二手設備市場, 如奇夢達關閉,出售其整條12英寸生產(chǎn)線給德儀,用作模擬電路生產(chǎn)。

　　在此次產(chǎn)業(yè)下降時期,許多模擬電路制造商關閉其現(xiàn)有的100mm及150mm生產(chǎn)線,而進入200mm硅片時代, 它們的眾多設備成了二手設備的來源。目前全球代工市場開始紅火,它們積極地擴充產(chǎn)能。中國許多芯片制造商可能是二手設備的最大買主之一, 從常識出發(fā),中國芯片制造商不太可能去追逐最先進工藝制程的競爭。

　　Solar,MEMS及LED制造商也開始加入翻新設備市場, 與先進IC技術制造商開展競爭, 目前來看它們的終端市場很紅火, 生產(chǎn)設備呈現(xiàn)短缺, 導致二手設備市場也開始向它們供貨,以滿足這些專有市場的需要。

　　即便是那些品牌大廠也購買翻新設備,因為近時期(2004年之前) 來的設備能提供一流的產(chǎn)能及所有先進制程技術的能力。如果不是追求最先進的技術, 從成本費用節(jié)省角度購買二手設備是有吸引力的, 加之, 即便是核心設備, 在正常情況下也能工作另一個15年或以上。

　　翻新工藝

　　今天的翻新設備大多是由1990年代中期的設備經(jīng)過翻新而成。翻新設備工藝通常是首先分解部件, 有些部件換成全新的, 然后按照OEM的指標重新裝配在一起。從外觀看, 這些翻新設備看起來如整舊如新, 表面都經(jīng)過拋光或者重新噴漆。OEM提供設備的定期維護計劃是十分嚴格,迫使翻新設備商也跟隨設備制造商的推薦把那些必要部件進行更換。如典型的KLA-Tencor的Surfscan顆粒檢測儀, 通常激光器與電源都要換成新的，由于光學系統(tǒng)通常不會損傷，所以進行必要的清洗, 調(diào)整與定位。

　　而且整個翻新過程在潔凈間中進行, 當設備出廠之前會邀請客戶至翻新現(xiàn)場作最終驗收測試。

　　與過去時代大不一樣, 二手設備通常附帶的資料非常有限, 今天對于翻新設備尤其是非常復雜的如光刻機等, 其安裝, 調(diào)試驗收及培訓, 所有一切翻新者都必須能提供。

　　翻新設備的軟件仍是有些購買者的關注點。一臺翻新設備通常帶的是那個年代的軟件版本, 如果需要最新的軟件版本,購買者必須到原廠去購買軟件的許可證。關鍵問題是購買如新設備那樣的軟件版本，從費用上是否合理, 相信是昂貴的。大部分二手設備客戶還是愿意使用經(jīng)過證實運行是穩(wěn)定及可靠的軟件, 但版本不一定是最新的。

　　SEMI作為全球貿(mào)易工業(yè)協(xié)會關于設備方面軟件的應用十分有興趣, 在2008年時它購買了SEC/N, 一家剩余的設備聯(lián)盟網(wǎng)站, 能為二手設備市場的軟件, 稱之為SESTG(Secordary Equipment,Srvice and Technology Group)提供邦助。

　　無論對于半導體設備的質(zhì)量與壽命及日益增強的需求，在業(yè)界中二手設備作為一種渠道已經(jīng)得到市場的肯定。

　　一個實例

　　近期有一臺翻新設備提供給客戶是Karl Suss公司的MA150cc光刻機,, 根據(jù)配置不同, 它的原始出廠價在50-70萬美元范圍。有一年保證期包括安裝與培訓。供貨周期為4-6個月。

　　ClassOne公司提供的翻新設備價格在22,5-27,5萬美元(取決于不同配置), 保證期為6個月, 同樣包括安裝與培訓。供貨期為2個月。

　　翻新工藝

　　所有主要部件經(jīng)過分解, 包括基臺,TSA顯微鏡操縱器,BSA顯微鏡操縱器, 硅片傳送機構, 片盒升降體, 快門組件, 燈源部分,WEC頭及Z軸。所有驅(qū)動皮帶, 開關及彎管(移動的管) 都更換新的。所有光源快門及透鏡園柱體更換。預對準部分整體清潔及添加潤滑油脂。所有操作器進行校正及顯微鏡進行重新測試與組裝。公司為最終客戶進行硅片測試, 包括光源校正, 并保證達到設備的原始出廠指標。

　　結(jié)論

　　最終用戶收到一臺幾乎全新的光刻機, 經(jīng)過完全的翻新, 僅用新設備一半的價格, 而且供貨期縮短一半。它達到原始出廠指標, 可供量產(chǎn)使用若干年。