TSMC超大型12英寸晶圓廠動土 2012年投產(chǎn)
TSMC于16日在中國臺灣臺中科學(xué)園區(qū)舉行第三座十二吋超大型晶圓廠(GIGAFABTM)--晶圓十五廠動土典禮,為TSMC“擴(kuò)大投資臺灣”的承諾寫下另一個重要的里程碑。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/110988.htm動土典禮由TSMC張忠謀董事長兼總執(zhí)行長主持。張忠謀董事長表示,科學(xué)園區(qū)在臺灣高科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中,扮演關(guān)鍵的角色,也是TSMC之所以能夠“立足臺灣、放眼全球、在全球半導(dǎo)體業(yè)發(fā)光”的重要支持。過去二十幾年來,TSMC陸續(xù)在竹科及南科茁壯成長,如今位于中科的晶圓十五廠開始動土興建,開啟了TSMC再創(chuàng)下一個高峰的新頁。
張董事長同時指出,一直以來,TSMC不斷努力提升「先進(jìn)技術(shù)」、「卓越制造」以及「客戶伙伴關(guān)系」的能力,并與我們無晶圓廠設(shè)計公司及整合元件制造商的客戶群共同組成半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中堅強(qiáng)的競爭團(tuán)隊。此次中科晶圓十五廠動土興建,再次彰顯本公司持續(xù)提供客戶先進(jìn)工藝技術(shù)服務(wù)、滿足客戶產(chǎn)能需求的決心。
晶圓十五廠是TSMC第三座每個月超過十萬片十二吋晶圓的超大型晶圓廠,也是TSMC第二座具備28納米工藝能力的超大型晶圓廠,未來幾年內(nèi)的總投資金額將超過新臺幣3,000億元。其中第一期廠房預(yù)計于明(2011)年六月開始裝機(jī),并于后年(2012)第一季開始量產(chǎn),為客戶生產(chǎn)40納米及28納米的產(chǎn)品。之后,更將繼續(xù)隨著TSMC先進(jìn)技術(shù)的發(fā)展,導(dǎo)入更先進(jìn)世代的工藝。
為了積極回應(yīng)客戶對產(chǎn)能的高度需求,在晶圓十五廠動土興建的同時,TSMC不斷進(jìn)行位于竹科晶圓十二廠以及南科晶圓十四廠的產(chǎn)能擴(kuò)充。目前晶圓十二廠與晶圓十四廠兩座十二吋超大型晶圓廠的單月產(chǎn)出量,合計已經(jīng)超過二十萬片十二吋晶圓,預(yù)計今年底這兩座廠房的單月建置產(chǎn)能更將擴(kuò)充至二十四萬片十二吋晶圓的規(guī)模,再次顯示TSMC維持客戶對我們的信賴以及努力成為客戶堅實的后盾的決心。
為了繼續(xù)落實節(jié)能減碳、永續(xù)經(jīng)營的目標(biāo),晶圓十五廠也將是TSMC繼晶圓十二廠及晶圓十四廠之后又一座綠色廠房,在設(shè)計時即采用多項污染防治設(shè)施與綠色節(jié)能的概念,包括85%工藝水回收率、雨水回收再利用、一般熱排氣(General Exhaust)循環(huán)再利用、同時發(fā)展太陽能發(fā)電與LED照明的應(yīng)用技術(shù),期望能達(dá)到溫室效應(yīng)氣體零排放的目標(biāo)。
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