應(yīng)用材料公司推出全新PECVD系統(tǒng)

　　應(yīng)用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng)，用于制造最先進(jìn)的智能手機(jī)和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過(guò)采用LTPS關(guān)鍵技術(shù)，該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標(biāo)準(zhǔn)尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量，降低成本，從而加快消費(fèi)電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉(zhuǎn)變。

　　OLED顯示屏具有豐富的色彩和低功耗特性，因此智能手機(jī)對(duì)4~5英寸OLED顯示屏有著強(qiáng)勁的需求。下一代平板電腦將采用更大的7~12英寸的OLED顯示屏，這就需要顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)能以滿(mǎn)足市場(chǎng)需求。除了能生產(chǎn)更大的OLED顯示屏外，應(yīng)用材料公司的AKT-20K PX系統(tǒng)還可用于制造超高清晰度的TFT-LCD顯示屏。和以前的技術(shù)相比，這種顯示屏的像素排列緊密，因此能夠呈現(xiàn)更明亮、更鮮銳的畫(huà)面，同時(shí)功耗更低。

　　AKT-20K PX系統(tǒng)的核心是先進(jìn)的LTPS技術(shù)。近十年來(lái)，應(yīng)用材料公司已使這項(xiàng)技術(shù)日臻完善。迄今為止，應(yīng)用材料公司已在全球交付近100套可將LTPS薄膜沉積在較小襯底上的系統(tǒng)。市場(chǎng)研究機(jī)構(gòu)DisplaySearch的報(bào)告顯示，2011年，LTPS沉積設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)到有史以來(lái)最高的24億美元。

　　應(yīng)用材料公司副總裁、平板顯示事業(yè)部總經(jīng)理Tom Edman表示：“應(yīng)用材料公司充分利用在大面積沉積技術(shù)領(lǐng)域近二十年來(lái)的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)，幫助客戶(hù)滿(mǎn)足消費(fèi)者對(duì)OLED顯示屏快速增長(zhǎng)的需求。我們擴(kuò)展了已通過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的LTPS沉積技術(shù)，將其應(yīng)用于最新的多反應(yīng)腔平臺(tái)，向客戶(hù)提供一流的性能和生產(chǎn)率。目前市場(chǎng)對(duì)AKT-20K PX系統(tǒng)反響非常好，我們已向多家主要的顯示屏制造商交付了多臺(tái)設(shè)備。”

　　欲了解更多關(guān)于應(yīng)用材料LTPS創(chuàng)新技術(shù)的詳細(xì)情況，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/akt-20k-px-pecvd.

　　應(yīng)用材料公司將于3月15日至17日在上海舉行的2011中國(guó)國(guó)際平板顯示器件、設(shè)備材料及配套件展覽會(huì)期間展示AKT-20K PX 系統(tǒng)。欲了解更多應(yīng)用材料公司在展會(huì)期間的活動(dòng)，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：www.appliedmaterials.com/events/semicon-china-2011。