MRAM熱輔助寫入 為實現(xiàn)20nm以下工藝所必需

　　法國研究機構SPINTEC與開發(fā)MRAM技術的Crocus Technology共同開發(fā)出了將熱輔助切換(Thermally Assisted　Switching：TAS)用于垂直磁化方式MTJ元件的STT-MRAM技術。并在2011年10月31日于美國亞利桑那(Arizona)州斯科茨戴爾(Scottsdale)開幕的磁技術國際會議“56th MMM”的首日進行了發(fā)布。

　　TAS技術是一項邊用加熱器對MTJ元件存儲層進行加熱，邊寫入數(shù)據(jù)的技術。對存儲層進行加熱后，矯頑力會下降，從而可輕松寫入數(shù)據(jù)。介質在存儲層中冷卻后，矯頑力會再次提高，數(shù)據(jù)穩(wěn)定性也會隨之提高。TAS技術基本上是一項與硬盤(HDD)熱輔助存儲相同的技術。

　　MRAM需要TAS技術的原因是，兼顧低開關電流和高穩(wěn)定性是推進定標(Scaling)所必需的。此次SPINTEC等采用了Sy(Pt/Co)/CoFeB/MgO/CoFeB/(Pd/Co)構成的垂直磁化方式MTJ元件，工作原理采用STT(自旋注入式磁化反轉)方式。MTJ元件的工作溫度范圍為-30℃～+85℃，不過寫入時由于利用TAS技術，因此會加熱至175℃。

　　據(jù)介紹，此次通過采用TAS技術，可以將熱穩(wěn)定性指標Δ提高至73，同時將切換時的電流密度(JC)降至4.6×106。SPINTEC等自信地表示，“通過組合使用STT方式和TAS，對于20nm以下工藝的MRAM，也可以實現(xiàn)業(yè)界最出色的Δ/JC”。不過，MR比目前只有10～20%。SPINTEC等表示，“今后將進行改進，以把MR比提高至100%左右”。