半導(dǎo)體制程簡(jiǎn)史

　　當(dāng)線寬遠(yuǎn)高于10微米時(shí)，純凈度還不像今天的器件生產(chǎn)中那樣至關(guān)緊要。旦隨著器件變得越來(lái)越集成， 超凈間也變得越來(lái)越干凈。今天，工廠內(nèi)是加壓過濾空氣，來(lái)去除哪怕那些可能留在芯片上并形成缺陷的最小的粒子。半導(dǎo)體制造車間里的工人被要求著超凈服來(lái)保護(hù)器件不被人類污染。

　　在利潤(rùn)增長(zhǎng)的推動(dòng)下，在1960年代半導(dǎo)體器件生產(chǎn)遍及得克薩斯州和加州乃至全世界，比如愛爾蘭、以色列、日本、臺(tái)灣、韓國(guó)、新加坡和中國(guó)，且在今天已是一個(gè)全球商業(yè)。

　　半導(dǎo)體生產(chǎn)商的領(lǐng)袖大都在全世界擁有生產(chǎn)車間。英特爾，世界最大的生產(chǎn)商，以及在美其他頂級(jí)生產(chǎn)商包括三星(韓國(guó))、德州儀器(美國(guó))、AMD(超微半導(dǎo)體)(美國(guó))、東芝(日本)、NEC電子(日本)、意法半導(dǎo)體(歐洲)、英飛凌(歐洲)、瑞薩(日本)、臺(tái)積電(臺(tái)灣，參見TSMC網(wǎng)站)、索尼(日本)，以及恩智浦半導(dǎo)體(歐洲)在歐洲和亞洲都有自己的設(shè)備。

　　在2006年，在美國(guó)有大約5000家半導(dǎo)體和電子零件生產(chǎn)商，營(yíng)業(yè)額達(dá)1650億美元(摘自Barnes報(bào)告《2006美國(guó)工業(yè)和市場(chǎng)展望》)。

　　以下為各半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)出現(xiàn)時(shí)間和主要代表產(chǎn)品

　　ITRS : International Technology Roadmap for Semiconductors(國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖)

　　ITRS是由歐洲、日本、韓國(guó)、臺(tái)灣、美國(guó)五個(gè)主要的芯片制造地區(qū)發(fā)起的。發(fā)起組織分別是European Semiconductor IndustryAssociation(ESIA，歐洲半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì))，the Japan Electronics and InformationTechnology Industries Association (JEITA，日本電子與信息技術(shù)工業(yè)協(xié)會(huì))， the KoreanSemiconductor Industry Association (KSIA，韓國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì))， the TaiwanSemiconductor Industry Association (TSIA，臺(tái)灣半導(dǎo)體工業(yè)協(xié)會(huì))， and the UnitedStates Semiconductor Industry Association(SIA，美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)聯(lián)盟)。ITRS的目的是確保集成電路(IC)和使用IC的產(chǎn)品在成本效益基礎(chǔ)上的性能改進(jìn)，從而持續(xù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的健康和成功。

　　ITRS工藝節(jié)點(diǎn)和半節(jié)點(diǎn)