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          Tegal出售納米沉積技術(shù)
          
						
          —— Tegal公司以大約360萬(wàn)美元售出
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2012-01-05
				來(lái)源：semi
				
				
				
				
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          　　芯片設(shè)備制造商Tegal日前表示，該公司已經(jīng)以大約360萬(wàn)美元售出超過(guò)30項(xiàng)的納米沉積(Nanolayer deposition, NLD)專利。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/127806.htm

          　　Tegal并未透露專利購(gòu)買者的細(xì)節(jié)。該公司曾在去年9月時(shí)宣布將尋求出售專利。2010年3月，該公司也曾出售其原有的薄膜蝕刻和物理氣相沉積產(chǎn)品線給OEM Group Inc.;另外，去年稍早該公司也將深層反應(yīng)離子蝕刻設(shè)備出售給SPTS。
          

          　　Tegal表示，該公司仍希望能以剩下的NLD技術(shù)售價(jià)能高于400萬(wàn)美元。目前該公司仍就其專利組合中的Lot 4部份進(jìn)行討論，這部份主要是針對(duì)銅阻擋層和low-k電介質(zhì)技術(shù)。
          

          　　“IC設(shè)備制造商對(duì)Lot 4比較有興趣，而設(shè)備制造商則大多對(duì)Lot 1~3有興趣，”Tegal技術(shù)長(zhǎng)Robert Ditizio在一份聲明中表示。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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                        納米
                        沉積技術(shù)
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
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