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          IMEC宣布第一個300mm晶圓兼容定向組裝工藝生產(chǎn)線
          
						
          —— 實現(xiàn)從學(xué)術(shù)DSA合作實驗室規(guī)模到大批量制造環(huán)境的升級
          
						
          
				作者：
				時間：2012-02-13
				來源：半導(dǎo)體制造
				
				
				
				
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          　　IMEC宣布成功研發(fā)出世界上第一個300毫米晶圓相容的定向自組裝(DSA)的工藝生產(chǎn)線。與美國威斯康星大學(xué)，安智電子材料和東京電子IMEC的DSA合作目的，以解決關(guān)鍵的障礙，實現(xiàn)從學(xué)術(shù)DSA合作實驗室規(guī)模到大批量制造環(huán)境的升級。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/128940.htm          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
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