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	 > 手機與無線通信 > 設計應用 > 一種用于射頻和微波測試系統(tǒng)的GaAsSb雙異質結雙極晶體管集成電路DHBT技術
          
    
          

          

          


	
	
	

          
	
          
		
          
			
          一種用于射頻和微波測試系統(tǒng)的GaAsSb雙異質結雙極晶體管集成電路DHBT技術
          
						
          
				作者：
				時間：2010-05-15
				來源：網絡
				
				
				
				
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          工藝的設計考慮到性能、可靠性和可生產性之間的平衡。從成品率 損失Pareto 圖 Fig. 5 中可以看出發(fā)射區(qū)/基區(qū)短路是影響成品率的主要原因，基區(qū)電極柱損失是影響遠小于發(fā)射區(qū)/基區(qū)短路的第二個原因。影響成品率的其它失效模式的影響相對較小，都在測試不確定范圍內。由500個晶體管組成的典型電路所達到的成品率已能夠滿足小規(guī)模儀器的應用應用。
          一種新的工藝技術對于Agilent復雜且規(guī)模較小的生產其晶片成品率大都如此。造成晶片成品率損失的原因主要有程序錯誤、晶片破裂、工藝和/或儀器問題。我們的經驗顯示GaAsSb/InP雙異質結雙極晶體管DHBTs并不存在異于其它化合物半導體的特有失效機制和更低的可生產性。
          
				
            
          
                
			
								
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