麻省大學(xué)選用AIXTRON愛思強(qiáng)系統(tǒng)用于碳納米管和石墨烯核心研究

　　愛思強(qiáng)股份有限公司宣布，美國麻省大學(xué)羅威爾分校(University of Massachusetts (UMass) Lowell)向其訂購一套能處理4英寸基材的BM沉積系統(tǒng)。該設(shè)備已運(yùn)往麻省大學(xué)新近落成的新興技術(shù)與創(chuàng)新中心(ETIC)，該中心是由學(xué)界、創(chuàng)業(yè)公司和駐校企業(yè)共享的頂尖研究設(shè)施。

　　麻省大學(xué)核心研究設(shè)施的納米加工潔凈室運(yùn)營總監(jiān)Thomas Ferraguto表示：“我們計(jì)劃借助這套新系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)將碳納米管和石墨烯廣泛應(yīng)用到多種電子應(yīng)用領(lǐng)域，例如高頻晶體管、能源存儲(chǔ)和柔性電子產(chǎn)品。我們的工程團(tuán)隊(duì)致力于開發(fā)和利用石墨烯與碳納米管的特性。BM系統(tǒng)為我們了提供一個(gè)靈活、可靠的材料沉積平臺(tái)。”此外，對(duì)于多方共享的研究設(shè)施而言，BM系統(tǒng)的耗材追蹤功能也是優(yōu)勢(shì)之一，可以確保將運(yùn)營成本準(zhǔn)確分配到相應(yīng)的研究或商業(yè)最終用戶上。

　　將石墨烯和碳納米管的獨(dú)特屬性推向商業(yè)應(yīng)用，是未來研發(fā)和制造領(lǐng)域面臨的主要挑戰(zhàn)。AIXTRON愛思強(qiáng)提供有高度靈活的石墨烯和碳納米管材料沉積系統(tǒng)，可以對(duì)臨界表面的尺寸進(jìn)行精確控制，從而助力制造商有效提高產(chǎn)量、性能、良率和質(zhì)量。此外，BM系統(tǒng)還具有自動(dòng)化流程控制、配方更改簡單易行、內(nèi)置流程監(jiān)控?cái)z像頭和可通過TCP/IP網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作的優(yōu)勢(shì)。該系統(tǒng)已獲得全球各地研究人員的青睞，用于探索新的研發(fā)可能及為科學(xué)、工程和工業(yè)領(lǐng)域提供支持。