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          微波多層板反鉆孔之金屬化孔互連

          作者: 時間:2011-07-12 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
          3.2.2.2 反面反(8-8-1)

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/191101.htm

            位置1(左上部)

          終點起點單位值實際值(mm)
          內(nèi)層銅箔厚度241228130.0325
          介質(zhì)層厚度228461820.455
          深度228421860.465

            位置2(左下部)

          終點起點單位值實際值(mm)
          內(nèi)層銅箔厚度299284150.0375
          介質(zhì)層厚度2841021820.455
          深度300942060.515

            位置3(右上部)

          終點起點單位值實際值(mm)
          內(nèi)層銅箔厚度271258130.0325
          介質(zhì)層厚度258781800.45
          反鉆孔深度264731910.4775

            位置4(右下部)

          終點起點單位值實際值(mm)
          內(nèi)層銅箔厚度275260150.0375
          介質(zhì)層厚度260821780.445
          反鉆孔深度275752000.5

            位置5(中心部)

          終點起點單位值實際值(mm)
          內(nèi)層銅箔厚度274260140.035
          介質(zhì)層厚度260851750.4375
          反鉆孔深度248791690.4225

            4 討論

            4.1 反鉆孔深度一致性

            4.1.1 單面反鉆孔(正面8-1-1)

          位置
          反鉆孔深度0.48
          剛好全鉆掉內(nèi)層銅
          0.4925
          剛好全鉆掉內(nèi)層銅
          0.48
          鉆掉內(nèi)層銅一半略少
          0.47
          剛好鉆至內(nèi)層銅
          0.485
          鉆掉內(nèi)層銅一半

            4.1.2 兩面反鉆孔(正面8-1-1 、反面8-8-1)

            4.1.2.1 正面反鉆孔(8-1-1)

          位置
          反鉆孔深度0.455
          鉆掉內(nèi)層銅一半
          0.475
          剛好全鉆掉內(nèi)層銅
          0.435
          差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
          0.4775
          稍鉆掉一點內(nèi)層銅

          0.5275
          全掉鉆內(nèi)層銅還過一些

            4.1.2.2 反面反鉆孔(8-8-1)

          位置
          反鉆孔深度0.465
          剛好鉆至內(nèi)層銅
          0.4775
          鉆掉內(nèi)層銅一小半
          0.4225
          差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
          0.515
          剛好全鉆掉內(nèi)層銅

          0.5
          剛好全鉆掉內(nèi)層銅



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