價(jià)值7200萬(wàn)美元,長(zhǎng)江存儲(chǔ)首臺(tái)光刻機(jī)運(yùn)抵武漢
長(zhǎng)江存儲(chǔ)的首臺(tái)光刻機(jī)已于今天中午運(yùn)抵武漢天河機(jī)場(chǎng),設(shè)備相關(guān)的海關(guān)、商檢及邊防口岸的相關(guān)手續(xù)辦理完成后,即可運(yùn)至長(zhǎng)江存儲(chǔ)的工廠。據(jù)集微網(wǎng)獨(dú)家消息,這臺(tái)光刻機(jī)為ASML的193nm浸潤(rùn)式光刻機(jī),售價(jià)7200萬(wàn)美元,用于14nm~20nm工藝。這也從側(cè)面透露了長(zhǎng)江存儲(chǔ)3D NAND閃存芯片的工藝制程。這是長(zhǎng)江存儲(chǔ)的第一臺(tái)光刻機(jī),陸續(xù)還會(huì)有多臺(tái)運(yùn)抵。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/201805/380202.htm圖:ASML的光刻機(jī)安全降落武漢天河機(jī)場(chǎng),正在卸貨中
在今年的4月5日,長(zhǎng)江存儲(chǔ)首批400萬(wàn)美元的精密儀器開始進(jìn)場(chǎng)安裝,標(biāo)志著國(guó)家存儲(chǔ)器基地從廠房建設(shè)階段進(jìn)入量產(chǎn)準(zhǔn)備階段。據(jù)悉,長(zhǎng)江存儲(chǔ)已經(jīng)試產(chǎn),產(chǎn)業(yè)鏈上不少企業(yè)都拿到了樣片在測(cè)試。如順利,今年四季度,中國(guó)首批擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的32層3D NAND閃存芯片有望實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
紫光集團(tuán)全球執(zhí)行副總裁、長(zhǎng)江存儲(chǔ)執(zhí)行董事長(zhǎng)高啟全此前接受采訪時(shí)曾強(qiáng)調(diào),這僅是剛剛開始。32層3D NAND閃存芯片量產(chǎn)后,不會(huì)上很高的產(chǎn)量,更主要的是完成完全自主技術(shù)積累,若技術(shù)不夠好,不會(huì)硬沖產(chǎn)量。此外64層閃存產(chǎn)品研發(fā)也在迅速進(jìn)行,力爭(zhēng)2019年底實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能爬坡量產(chǎn),這樣就能把與全球領(lǐng)先大廠的差距縮短在2年以內(nèi)。
紫光集團(tuán)董事長(zhǎng)兼長(zhǎng)江存儲(chǔ)董事長(zhǎng)趙偉國(guó)表示,我們希望5年站穩(wěn)腳跟,別人沒法把我們打出去,但真正的成功需要10年時(shí)間。芯片生產(chǎn)機(jī)臺(tái)搬入。這正如航母舾裝完畢,開始裝配武器彈藥,下一步就要在今年底實(shí)現(xiàn)芯片量產(chǎn),出海遠(yuǎn)航。
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