5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600%

提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用于5nm及更先進工藝，使得產能大漲600%。

隨著制程工藝不斷提升，晶圓的制造也越來越復雜，這也會導致晶圓中的錯誤更多，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術的檢測系統(tǒng)，內部也有復雜的光電子系統(tǒng)，能夠產生、控制多個電子束，然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質量，并有高速運行的平臺以控制測試的晶圓數(shù)量，還要有計算系統(tǒng)處理電子束的數(shù)據(jù)。

簡單來說，ASML研發(fā)的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統(tǒng)，工藝越先進，檢測系統(tǒng)就越重要，它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。

ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產生、控制九道電子束，所以產能提升了600%，可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。

目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進工藝的晶圓測試，已經交付給客戶進行測試驗證，未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。