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          在EUV光刻技術(shù)上,日本公司壟斷了光刻膠的供應(yīng)

          作者: 時間:2020-10-12 來源:科技核心觀察 收藏

          雖然將會有更多用于光刻的制造商。但是目前這個市場是日本公司壟斷的。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202010/419102.htm

          目前只有兩家芯片制造商掌握了使用極紫外線輻射光刻的半導(dǎo)體光刻技術(shù),但是毫無疑問,這就是光刻技術(shù)的未來。

          與任何未來一樣,它為一些光刻材料市場開拓者提供了在新市場中建立自己的機會。尤其是目前由兩家日本公司生產(chǎn)使用光刻機所使用的技術(shù)處理材料,而其中一家是著名的Fujifilm富士膠片公司。

          富士膠片控股公司和住友化學(xué)將在2021年開始為下一代芯片提供光刻材料,這可能有助于減小智能手機和其他設(shè)備的芯片尺寸,并使它們更加節(jié)能。這款材料主要作為光致抗蝕劑的供應(yīng),這款光敏材料在硅晶體的蝕刻中起主要作用。

          日本公司早已抓住了的供應(yīng)。例如,兩家日本公司JSR和信越化學(xué),它們主要供應(yīng)用于控制EUV光刻機的,EUV光刻機占光刻機市場的90%。這種實際上的壟斷地位甚至使日本可以通過這種材料的供應(yīng)來限制韓國,這個情況已經(jīng)在一年前的芯片市場上發(fā)生過。幸運的是,一切都解決了。

          因此富士和住友化學(xué)提供用于EUV光刻的光刻膠將進(jìn)一步緩解這種情況,盡管它們也都是日本公司。

          富士膠片正在投資45億日元(4260萬美元),在東京西南的靜岡縣裝備一家制造廠,明年開始批量生產(chǎn)光刻膠。根據(jù)公司代表的說法,其光致抗蝕劑會在硅上留下最少量的殘留材料,從而大大降低了芯片缺陷的可能性。

          住友化學(xué)將在2022財年初完成大阪工廠的所有光刻膠產(chǎn)能(從設(shè)計到生產(chǎn))。但是它作為193 nm掃描儀光刻膠的供應(yīng)商已經(jīng)和某家知名制造商提前簽署了未來產(chǎn)品的合同,可能是為臺積電供貨。

          未來,用于3納米技術(shù)工藝的光致抗蝕劑生產(chǎn)問題將變得很重要,因為許多原因,現(xiàn)代光致抗蝕劑不適合使用。EUV技術(shù)需要使用獨特的光刻膠,并且工藝技術(shù)越小,這對光刻膠的要求就越高。




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