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          環(huán)旭電子發(fā)展先進失效分析技術(shù) 應(yīng)對SiP微小化高階產(chǎn)品需求

          作者: 時間:2023-04-21 來源:美通社 收藏

          在5G、消費電子、車載電子和創(chuàng)新智能應(yīng)用的帶動下,以為代表的新型封裝技術(shù)逐漸興起,高可靠性元器件和半導(dǎo)體市場迎來高密度、小型化產(chǎn)品需求的爆發(fā)性增長。為滿足這些先進制程、先進材料及先進封裝的應(yīng)用和發(fā)展,發(fā)展先進電子元器件技術(shù),應(yīng)對微小化產(chǎn)品日益復(fù)雜和多樣化的需求。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202304/445825.htm

          的一般程序分為3個關(guān)鍵步驟:失效模式確認(rèn)、分析失效機理、驗證失效機理和原因,再進一步就是要提出改進措施。在集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中發(fā)揮的重要性越來越大。為提高失效分析的成功率,必須借助更加先進和精確的設(shè)備與技術(shù),并輔以合理的失效分析才能實現(xiàn)。

          為了將制程問題降至最低,利用高精度3D X-Ray定位異常元件的位置,利用激光去層和重植球技術(shù)提取 模組中的主芯片。同時,利用X射線光電子能譜和傅立葉紅外光譜尋找元件表面有機污染物的源頭,持續(xù)強化SiP模組失效分析領(lǐng)域分析能力。

          X光檢測不會破壞待測物,因此在進行SiP封裝元器件的失效點分析時,X光檢測被視為是一種非常重要的非破壞性檢測技術(shù),除了可以觀察SiP封裝或基板內(nèi)的缺陷外,還可以檢視各種元器件的內(nèi)部構(gòu)造。公司引入高精度納米級3D X-Ray,利用旋轉(zhuǎn)樣品的方式得到空間中各種不同方位的二維X光斷層影像,配合電腦演算將這些影像組合成三維X光斷層影像。

          隨著芯片尺寸和錫球間距越來越小,傳統(tǒng)的化學(xué)開蓋直接提取芯片,會對一些芯片的重布線層(RDL)和絕緣層造成傷害。研發(fā)人員精細(xì)研磨芯片背面、鐳射切割芯片四周、用高精度鐳射植球機進行植球、最后交叉驗證芯片性能等方法,解決了在不破壞芯片原始狀態(tài)的情況下從SiP模組中完整提取并完成芯片測試的難題。

          由于污染氧化、腐蝕、遷移、工藝和環(huán)境導(dǎo)致的元器件或芯片表面或微區(qū)產(chǎn)生化學(xué)成分的變化而導(dǎo)致失效的案例比比皆是,因此微區(qū)成分的原位分析非常重要。除了與掃描電子顯微鏡(SEM) 配合使用的能譜分析(EDS) 以外, 環(huán)旭電子引入了高靈敏度的分析設(shè)備—X射線光電子能譜儀(XPS)和傅立葉紅外光譜儀(FTIR)。其中,XPS可以做元素分析和化學(xué)態(tài)分析,在離子束濺射的幫助下,可以做元素由表及里的縱向濃度分布分析,分析氧化層或污染層的厚度以及摻雜的濃度分布。FTIR 則主要分析對紅外有吸收的有機材料和半導(dǎo)體材料的組成和含量,帶顯微鏡的紅外光譜可以做微米級別厚度的微區(qū)分析,能有效追查有機污染物來源并確定問題根源是來自哪個階段。

          環(huán)旭電子新產(chǎn)品開發(fā)處處長童曉表示:隨著電子新材料、新型元器件的應(yīng)用和高端芯片、先進封裝工藝的不斷發(fā)展, 失效分析技術(shù)和能力必須與時俱進。通過研發(fā)人員的不斷探究,環(huán)旭電子SiP模組失效分析方法從最初的摸索階段逐漸走向成熟,持續(xù)精進各類檢測分析技術(shù),對提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低不良品損失發(fā)揮了關(guān)鍵性作用。



          關(guān)鍵詞: 環(huán)旭電子 失效分析 SiP

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