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          ASML:數(shù)值孔徑0.75超高NA EUV光刻設(shè)備2030年登場

          作者: 時(shí)間:2023-06-26 來源:全球半導(dǎo)體觀察 收藏

          據(jù)日本媒體報(bào)導(dǎo),光刻機(jī)設(shè)備龍頭阿斯麥()執(zhí)行副總裁Christophe Fouquet近日在比利時(shí)imec年度盛會(huì)ITF World 2023表示,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要2030年開發(fā)數(shù)值孔徑0.75的超高 光刻技術(shù),滿足半導(dǎo)體發(fā)展。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202306/447943.htm

          Christophe Fouquet表示,自2010年以來技術(shù)越來越成熟,半導(dǎo)體制程微縮至2020年前后三年,以超過50%幅度前進(jìn),不過速度可能會(huì)在2030年放緩。

          計(jì)劃年底前發(fā)表首臺商用High-=0.55)微影曝光設(shè)備(原型制作),2025年量產(chǎn)出貨。2025年開始,客戶就能從數(shù)值孔徑為0.33傳統(tǒng)EUV多重圖案化,切換到數(shù)值孔徑為0.55 High-NA EUV單一圖案化,降低制程成本,提高產(chǎn)量。

          High-NA EUV預(yù)估會(huì)有五大客戶:英特爾、臺積電、三星、SK海力士、美光,可最早使用設(shè)備??屏盅邪l(fā)、柯磊、HMI和JSR及TEL等正與合作,開發(fā)High-NA EUV材料與特用化學(xué)品。

          Fouquet表示,EUV光源輸出功率一直穩(wěn)步增加,ASML傳統(tǒng)型號EUV光源輸出功率為250W~300W,最新型號3600D增加到350W,現(xiàn)在研究層面已做到600W,800W指日可待。

          到2030年,使用High NA EUV的多重圖案將與單一圖案一起完成,以提高產(chǎn)量,并降低制程成本,需要更高數(shù)值孔徑的EUV曝光(NA=0.75)。藉DUV、ArF、EUV和High-NA EUV技術(shù)形成圖案的每個(gè)晶體管成本都不斷變化,考量到新技術(shù)價(jià)格一定高于EUV每套3億美元,High-NA EUV價(jià)格將非??捎^,但仍取決于客戶要求和開發(fā)成本。



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