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          2023半導(dǎo)體設(shè)備年會(huì)數(shù)據(jù)干貨:中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備回顧與展望

          作者: 時(shí)間:2023-08-11 來(lái)源:半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)縱橫 收藏

          2023 年 8 月 10 日,在第 11 屆 (2023 年) 中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)年會(huì)暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇上,中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)金存忠回顧和展望了中國(guó)的發(fā)展。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202308/449564.htm


          2022 年中國(guó)行業(yè)經(jīng)濟(jì)運(yùn)行基本情況

          面對(duì)新疫情、世界經(jīng)濟(jì)衰退和外部壓力加大的三重沖擊,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的推動(dòng)下,保持了快速發(fā)展的態(tài)勢(shì)。(注:本文中半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)備包括、集成電路制造設(shè)備,LED 制造設(shè)備,太陽(yáng)能電池片制造設(shè)備,其它半導(dǎo)體器件制造設(shè)備)

          根據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)對(duì)中國(guó)大陸 77 家主要半導(dǎo)體設(shè)備制造公司(年銷(xiāo)售收入 1000 萬(wàn)元以上)的統(tǒng)計(jì),2022 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的銷(xiāo)售收入完成了 593.0 億元,同比增長(zhǎng) 53.6%;半導(dǎo)體設(shè)備出口交貨值 70.8 億元,同比增長(zhǎng) 119.2%;總利潤(rùn)達(dá)到 149.5 億元,同比增長(zhǎng) 66.1%。

          從 2019 年到 2022 年,中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售收入從 175.1 億增長(zhǎng)到 593 億人民幣,年均增長(zhǎng)率達(dá)到了 48.3%。

          細(xì)分賽道來(lái)看,集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入 2022 年達(dá)到 319 億元,同比增長(zhǎng) 86.1%,是所有賽道中增長(zhǎng)速度最快,也是實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售收入最多的市場(chǎng);同時(shí)集成電路設(shè)備也是出口交貨值最大的賽道。

          金存忠介紹到,太陽(yáng)能設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率已經(jīng)達(dá)到 90%,產(chǎn)業(yè)鏈的主要核心設(shè)備都已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化。如果太陽(yáng)能設(shè)備能夠出口,這一賽道能夠?qū)崿F(xiàn)更快的發(fā)展。tMini LED 的關(guān)鍵設(shè)備已經(jīng)解決了(MOCV),但是 Micro LED 領(lǐng)域的設(shè)備還有待發(fā)展。此外,第三代半導(dǎo)體相關(guān)設(shè)備的市場(chǎng)還處于初步發(fā)展的階段。

          整體來(lái)看集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入已經(jīng)占半導(dǎo)體設(shè)備收入的 54%,在 2021 年的時(shí)候,光伏設(shè)備和集成電路設(shè)備銷(xiāo)售收入接近,到了 2022 年集成電路設(shè)備就超過(guò)了光伏設(shè)備。一方面是集成電路設(shè)備企業(yè)的快速發(fā)展;另一方面原因是由于政策限制,一些國(guó)家不可以購(gòu)買(mǎi)中國(guó)生產(chǎn)的太陽(yáng)能光伏設(shè)備,導(dǎo)致這一市場(chǎng)發(fā)展受限。這再次反映了政策對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的影響。

          2019 年-2022 年各類半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售收入

          2022 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售收入前十家單位銷(xiāo)售收入 438.4 億元,占 77 家半導(dǎo)體設(shè)備制造商銷(xiāo)售收入總額的 73.9%,相比 2021 年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備前十家單位銷(xiāo)售收入增長(zhǎng) 48.4%。2022 年半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售收入前十家單位入圍銷(xiāo)售收入為 13.6 億元,比 2021 年入圍前十名增長(zhǎng) 4.34 億元。2022 年新進(jìn)入前十名的企業(yè)是拓荊科技股份有限公司和沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司。同時(shí),金存忠預(yù)測(cè) 2023 年半導(dǎo)體設(shè)備的入圍銷(xiāo)售收入有望增長(zhǎng)至 17 億。

          2022 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)占有率保持增長(zhǎng)。根據(jù) SEMI 公布的資料顯示,2022 年中國(guó)大陸進(jìn)口半導(dǎo)體設(shè)備 282.7 億美元(含二手設(shè)備),成為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)。按照銷(xiāo)售額計(jì)算(美元按 1:7 折算),2022 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中國(guó)大陸的市場(chǎng)占有率為 23%,比 2021 年 (19.6%)增長(zhǎng) 3.4 個(gè)百分點(diǎn)。

          2022 年由于國(guó)產(chǎn)設(shè)備市場(chǎng)占有率提高,13 類主要半導(dǎo)體設(shè)備中國(guó)大陸進(jìn)口額同比減少 8.1%。2022 年位于進(jìn)口額前三位的是等離子體干法刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備 (CVD)、氧化、擴(kuò)散、退火及其它熱處理爐,2022 年進(jìn)口額分別減少 12.7%、11.9% 和 9.6%。封裝設(shè)備中引線鍵合機(jī)和塑封壓機(jī)分別減少 42% 和 22%。

          根據(jù)海關(guān)數(shù)據(jù),中國(guó)大陸進(jìn)口設(shè)備中光刻機(jī)排名第四。值得注意的是,根據(jù)這一數(shù)據(jù)中國(guó)上半年進(jìn)口光刻機(jī)臺(tái)數(shù)大概為 20 臺(tái),與一部分媒體炒作「第二季度從 ASML 進(jìn)口 27 臺(tái)光刻機(jī)」并不相符??梢钥吹焦饪虣C(jī)、PVD、離子注入機(jī)的進(jìn)口金額仍在增長(zhǎng),說(shuō)明在這些領(lǐng)域國(guó)產(chǎn)企業(yè)還相對(duì)薄弱。

          我國(guó)集成電路晶圓制造設(shè)備進(jìn)入高速發(fā)展階段。伴隨國(guó)內(nèi)集成電路晶圓廠高增速持續(xù)擴(kuò)產(chǎn),集成電路設(shè)備產(chǎn)業(yè)近年來(lái)迎來(lái)高速發(fā)展階段。集成電路設(shè)備市場(chǎng)高增長(zhǎng):一是由于中國(guó)大陸集成電路市場(chǎng)優(yōu)勢(shì)明顯;二是國(guó)產(chǎn)等離子干法刻蝕、化學(xué)氣相薄膜沉積、氧化擴(kuò)散退火熱處理、濕法清洗、化學(xué)機(jī)械拋光等關(guān)鍵設(shè)備技術(shù)上不斷突破,覆蓋了更多應(yīng)用;第三是國(guó)產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證穩(wěn)步推進(jìn),推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。

          26 項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備創(chuàng)新產(chǎn)品進(jìn)入量產(chǎn)生產(chǎn)線

          由于國(guó)外政策對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的打壓,下游用戶希望用上國(guó)產(chǎn)設(shè)備。這種需求推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)設(shè)備在國(guó)內(nèi)產(chǎn)線上的驗(yàn)證。在現(xiàn)在的背景下,即使能買(mǎi)到國(guó)外的設(shè)備,之后的售后也有可能成為一個(gè)問(wèn)題。積塔半導(dǎo)體就是一個(gè)例子,積塔半導(dǎo)體先用 5000 片的試驗(yàn)線測(cè)試,測(cè)試通過(guò)后就進(jìn)行了 12 英寸月產(chǎn) 5 萬(wàn)片的現(xiàn)金投資,這足以反映國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體公司對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的開(kāi)放態(tài)度。

          金存忠還表示,核心部件替代進(jìn)口加快了設(shè)備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。2022 年半導(dǎo)體設(shè)備核心部件機(jī)械手、溫控器、射頻電源、低溫真空泵、干泵等已得到半導(dǎo)體設(shè)備制造商驗(yàn)證,實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代,設(shè)備核心部件國(guó)內(nèi)供應(yīng)鏈正在形成并得到快速發(fā)展。


          半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)「投資有風(fēng)險(xiǎn)」

          金存忠指出當(dāng)前國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備還存在著一些問(wèn)題。

          第一,當(dāng)前關(guān)鍵的設(shè)備現(xiàn)在國(guó)產(chǎn)化率還比較低,特別是光刻機(jī)?,F(xiàn)在的光刻機(jī)在量產(chǎn)上沒(méi)有得到驗(yàn)證,目前國(guó)產(chǎn)制造商能夠制造的是先進(jìn)封裝和 LED 領(lǐng)域的光刻機(jī)。光刻機(jī)的難點(diǎn)不僅在制造出來(lái),還要保證設(shè)備的效率和良率。只有 99.9% 以上的良率,才有可能保證 98% 的成品率;如果 99% 的良率,可能導(dǎo)致成品率只有八成。

          有一些設(shè)備還是市場(chǎng)占有率比較低,可能低于 5%。以量測(cè)設(shè)備為例,雖然有很多公司在做,但是量很少,在整個(gè)市場(chǎng)的占比也很小。國(guó)產(chǎn) CVD 在這兩年發(fā)展很快,特別是拓荊,但是整體數(shù)量還是較少。

          第二,集成電路關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)口零部件占比較大。目前集成電路晶圓制造關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)口零部件金額約占到設(shè)備價(jià)格的 40% 左右,占比較大,影響了國(guó)產(chǎn)設(shè)備在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。目前這些零部件國(guó)內(nèi)制造商大多已有安排,有的已進(jìn)入驗(yàn)證和小批量試用階段。

          雖然國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備零部件企業(yè)已經(jīng)解決了一些高端產(chǎn)品,但仍有一些產(chǎn)品需要進(jìn)口。例如,高精密的流量計(jì)、靜電卡盤(pán)、真空閥門(mén)等。這些產(chǎn)品的價(jià)值很高,進(jìn)口的量占的很比重很大。據(jù)金存忠介紹,國(guó)內(nèi)一家半導(dǎo)體的設(shè)備的龍頭企業(yè),去年它進(jìn)口的零部件占到整個(gè)設(shè)備的金額的 40%,有的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備公司的零部件進(jìn)口額可能達(dá)到 60%。這樣的數(shù)字意味著,一旦半導(dǎo)體設(shè)備零部件面臨管制,會(huì)有很大問(wèn)題。


          展望國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的 2023

          對(duì)于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的 2023 年,金存忠給出了三點(diǎn)展望。

          第一,2023 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售有望繼續(xù)保持增長(zhǎng)。增長(zhǎng)的動(dòng)力包括:1. 集成電路設(shè)備出口管制給國(guó)產(chǎn)集成電路設(shè)備帶來(lái)發(fā)展機(jī)遇,國(guó)內(nèi)投資的集成電路晶圓制造廠為保證自身供應(yīng)鏈安全,加快了國(guó)產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證和采購(gòu)的步伐;2. ?國(guó)內(nèi)成熟工藝晶圓集成電路、先進(jìn)封裝集成電路、高效太陽(yáng)能電池、mini LED 和化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池市場(chǎng)持續(xù)發(fā)展,推動(dòng)了國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的市場(chǎng);3. 一大批自主研發(fā)的關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備和核心部件進(jìn)入量產(chǎn)生產(chǎn)線,替代進(jìn)口,提高了國(guó)產(chǎn)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

          第二,2023 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口繼續(xù)減少。根據(jù)海關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù),2023 年 1-6 月中國(guó)大陸 13 類主要半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額為 72.94 億美元,同比比減少 13.3%。其中除分步重復(fù)光刻機(jī)、集成電路工廠專用自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器人、研磨機(jī)和切割設(shè)備外,其它設(shè)備全部負(fù)增長(zhǎng),等離子體干法刻蝕機(jī)上半年進(jìn)口額同比減少 29.6%。預(yù)計(jì) 2023 年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口額將繼續(xù)減少。

          第三,主要半導(dǎo)體設(shè)備制造商訂單穩(wěn)步增長(zhǎng)。預(yù)計(jì) 2023 年國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售收入增長(zhǎng) 38% 左右,達(dá)到 817 億元。其中:集成電路設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng) 40%,達(dá)到 450 億元;太陽(yáng)能電池片設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng) 35%,達(dá)到 310 億元;LED 設(shè)備預(yù)計(jì)增長(zhǎng) 20%,達(dá)到 37 億元;分立和其它半導(dǎo)體器件預(yù)計(jì)增長(zhǎng) 33%,達(dá)到 20 億元。



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