國內集成電路裝備產業的總結與展望

尖端光刻機設備及零部件方面的核心領軍人物之一朱煜老師給大家分享集成電路最卡脖子的裝備產業中值得思考的問題。

集成電路裝備產業的春秋時期

眾所周知，春秋時代周文王分封諸侯，而后形成春秋五霸。我國集成電路02 專項啟動之后，在整體戰略部署下，國內創新團隊和企業已有一個整體布局，每個企業都有專攻的一個領域，如今從無到有，從低端到高端，已經實現了一個非常好的水平。

在“春秋時代”，各企業一般是專攻1~2 種裝備，并且都是從0 開始去追趕，在02 專項重要的支持下，各企業紛紛取得突破。在企業數量有限的情況下，針對一個裝備，在“多選一”的條件下，競爭激烈，因而各企業基本不會研發相同的設備。在專項的部署下，企業與裝備形成一個完整的覆蓋面，形成“分封”的局面。經過大家的努力與專項支持，各企業在擅長的設備領域發展迅速，并從而形成一個良性互補的狀態，并且與國外的技術差距逐步縮小，在補齊設備短板的同時，產業鏈條也變完整，基本上具備了一定的規模。

朱煜老師隨后盤點了集成電路裝備中的幾家核心企業，首位提到的是上海微電子，其在2002，是第一家成立的集成電路裝備公司，可謂是集成裝備領域“最硬的骨頭”，目前它的裝備涵蓋了前道光刻機、封裝光刻機和平板顯示光刻機。第二位是北方微電子，其在2001年注冊成立，經過多年對光刻機的攻關，一步步發展壯大，目前在專項當中是非常核心的裝備企業。中電科集團的技術非常扎實，先后在離子注入機、化學機械拋光以及在封測設備方面取得了一系列的突破，在產業當中有極大的貢獻。最后提到了中微半導體，其是一家海歸企業，也是一家明星企業，因為在刻制機方面的突破，使得美國放松了對中國刻制設備的限制，并在國際上具有一定的影響力。但除了這幾家企業之外，國內其它企業在這個階段也獲得了良好的發展，在各自擅長的領域專攻技術，實現突破，達到了一個百花齊放的情況，也為如今國內技術蓬勃發展打下堅實的基礎。

在2018 年時，02 專項的資金已經用完且基本停止布局新項目，并在2021 年完成了正式的專項驗收，因此各企業失去了資源的推動力量，從而進入所謂的“戰國”時代。

集成電路裝備產業的戰國時期

“戰國”格局形成的一個重要外部條件是當時正是中美科技戰越打越烈的階段，因而影響了整個運行環境。國內大生產線的企業非常需要好的設備，并希望更多企業能夠解決“卡脖子”的難題。經過“春秋”時期，每家企業實力逐漸增強，甚至有獨立融資發展的能力，隨著19 年科創板開板，大批集成電路裝備企業登陸了科創板，陸陸續續的在資本市場獲得新的發展。

也使得企業有能力和資源拓展自己的產品線，每一種設備都出現了兩家甚至更多的競爭者，也就進入一個新的時代，就是“戰國”時代，現在仍處于這個時代。在光刻、刻蝕、薄膜以及CMP 等技術領域，我國已培養大量科研人員，并有大批龍頭企業脫穎而出，形成強勁的戰斗力。企業、科研實驗室及設備供應商群雄紛爭，并且還在不斷出現新的競爭者，哪家做的好，優勢大，客戶就會選擇誰，“戰國”局面日益凸顯并仍在不斷擴大。

總體來講，“戰國”時代體現出來的是一個混戰，互相競爭。大家都熟悉“內卷”這個詞，現在集成電路的方方面面也開始“卷”了起來，尤其是裝備領域，具體體現在同質化競爭，各企業關注眼前利益，用最快的方式，例如通過“挖人”來獲取一些技術，這種方式帶來的只是浪費，中國的集成電路裝備企業多但資源有限，且要面對國外的打壓、技術的限制，甚至一些極端性行為，在此情況下，自己內部還在混戰，內憂外患，這非常令人擔憂，這種情況如果任由發展，只會愈演愈烈，帶來的處境是非常殘酷的。

所以當下必須要改變這樣的狀況，要正面的面對這樣的一個局勢，消除“內卷”是要共同進行努力，中國有一個典故是“從天下大亂進入天下大治”，中國的集成電路裝備產業在外有艱巨的壓力和發展環境，因而內部必須要有措施應對。首先要肯定，在市場機制下的自由競爭并不是壞事，不應反對競爭，也不應反對市場機制，但容易忽視的是國產化率不容樂觀，目前在裝備方面還不能實現高度國產化，尤其在先進工藝節點，仍有很多設備目前還接近于空白。那么在美國、日本和歐洲企業這樣的一個壟斷之下，國內仍需發展進步。其次在客戶端也同樣面臨挑戰，國產設備仍未形成體系化，對于某些特殊的工藝需求，或針對一些關鍵工藝，我們的生產線仍不能完全滿足需求，無法保證其良率。

競爭要靠技術上的先進性，并不是打價格戰、靠“內卷”，用銷售的手段來搶訂單，打價格戰來獲得訂單。這種惡性競爭，它基于的不是創新驅動，從本質上，這不應作為競爭的主要方向。

在我們設備的零部件及材料仍然受限的情況下，設備的關鍵零部件、傳感器和各種材料生產難度非常大，投入成本也高，而且每一個關鍵零部件其實是不成規模的，沒有多少企業愿意做。因此這種情況會嚴重的制約設備企業的發展，需要把更多的精力用在培育零部件的供應體系上，對于裝備企業是長遠發展的一個基礎，這樣才有后面的動力，需重點關注。

想要消除畏懼，營造健康的一個發展生態，首先要從產業目標出發，主要強調協同創新，在內循環的基礎之上進行合理分工，良性競爭。不要做惡性競爭，更不要去做低水平的復制，要有創新，沒有創新，最后結局仍是整體被卡住。

共建集成電路裝備產業命運共同體

裝備產業也不能光看裝備，要各個環節同步發展，一些基礎性的關鍵零部件，需要很多廠商共同來開發，要資源共享、共同開發。缺乏信任，資源封閉對于整個產業的發展是負向作用，朱煜老師認為共建產業鏈的上下游兼同行之間的彼此信任，推進產業的融合發展，實現資源的共享，必須要“打群架”，齊心協力。集成電路裝備產業的技術壁壘和門檻非常高，能進入這個行業的企業是有限的，希望大家術業有專攻，發揮自己特長，都去做高端設計，不要去做賺快錢的事，各個企業要在擅長的賽道里頭做精做細，做做到國際水平，真正把國產品牌做大做強，按照商業規則建立利益分享機制，尊重技術的創新規律，保持定力，持之以恒，鞏固集成電路的命運共同體。

同時也希望國家加大政策支持力度，吸引社會資本對國產設備的投資。把握行業成長的規律，為不同發展階段的企業提供精準性支持，同時也呼吁各個資本市場的有機組成部分發揮越來越大的作用，為半導體行業的命運共同體做出貢獻，同時也相信國產企業必然會不斷崛起，真正立足于國際市場。

（本文來源于《EEPW》2023年11月期）