芯源微廣州子公司光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開(kāi)工

4月25日，沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“芯源微”）廣州子公司——廣州芯知科技有限公司半導(dǎo)體設(shè)備光刻膠泵及高純供液系統(tǒng)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目開(kāi)工儀式在廣州舉行。

據(jù)官網(wǎng)介紹，芯源微成立于2002年，是由中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，致力于提供半導(dǎo)體裝備與工藝整體解決方案。

芯源微所開(kāi)發(fā)的涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域?？蓾M足300mm前道制程及300mm先進(jìn)封裝厚膠工藝制程。

芯源微于2019年12月16日在上交所科創(chuàng)板上市。公司總部位于沈陽(yáng)市渾南區(qū)，并在上海臨港設(shè)有全資子公司，總部占地4萬(wàn)平米，擁有集成電路工藝開(kāi)發(fā)和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝車間。

此前3月19日，芯源微上海臨港廠區(qū)正式竣工投產(chǎn)。資料顯示，上海芯源微企業(yè)發(fā)展有限公司成立于2021年，是芯源微的全資子公司。上海芯源微主要開(kāi)展28nm及以下高端工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的集成電路光刻工藝涂膠顯影設(shè)備、化學(xué)清洗設(shè)備及其核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，

2022年，上海芯源微承擔(dān)建設(shè)的“芯源微臨港研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目主體工程在臨港新片區(qū)重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)全面開(kāi)工，園區(qū)占地45畝、規(guī)劃總建筑面積約5.4萬(wàn)平方米，將于2023年第四季度竣工，建成后將具備較強(qiáng)的國(guó)際先進(jìn)水平半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)能力。