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          ERS全自動(dòng)光子解鍵合設(shè)備問(wèn)世

          作者: 時(shí)間:2024-05-30 來(lái)源:EEPW 收藏

          electronic 推出具備光子解鍵合和晶圓清洗功能的全自動(dòng) Luminex 機(jī)器

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202405/459359.htm

          半導(dǎo)體制造業(yè)提供溫度管理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者 electronic宣布推出兩款全新Luminex 系列全自動(dòng)設(shè)備:LUM300A1和 LUM300A2,這兩臺(tái)設(shè)備專(zhuān)為處理 300 毫米基板而設(shè),均采用了 最先進(jìn)的光子解鍵合技術(shù),為臨時(shí)鍵合和解鍵合工藝提供了無(wú)與倫比的靈活性、極高生產(chǎn)能力和成本效益。

          "臨時(shí)鍵合和解鍵合是基板(晶圓或面板)減薄和封裝工藝不可或缺的技術(shù)," Yole Group 半導(dǎo)體設(shè)備高級(jí)技術(shù)與市場(chǎng)分析師 Taguhi Yeghoyan 博士認(rèn)為,"封裝在所有應(yīng)用中所取得的進(jìn)步(如扇出面板級(jí)封裝和異質(zhì)集成)推動(dòng)了臨時(shí)鍵合和解鍵合設(shè)備的銷(xiāo)量,預(yù)計(jì) 2029 年收入將達(dá)到 5.71 億美元,23到29年均復(fù)合增長(zhǎng)率為 16.6%,其中超過(guò) 70% 的收入將來(lái)自于激光有關(guān)的機(jī)器。" (來(lái)源: Wafer Fab Equipment Market Monitor, Yole Intelligence, 2024)

          ERS 的新型 Luminex 設(shè)備為無(wú)應(yīng)力解鍵合提供了獨(dú)特的解決方案,與傳統(tǒng)激光鍵合相比,可節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本30%以上。具備強(qiáng)大的晶圓、薄晶圓處理能力,每小時(shí)產(chǎn)出量至少為 45 個(gè)晶圓的該設(shè)備無(wú)疑為用戶(hù)提供了一種高產(chǎn)能的解決方案,生產(chǎn)率將得到顯著提升。

          光子解鍵合工藝的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì)是能與各種鍵合材料兼容,這使得機(jī)器能夠滿(mǎn)足 OSAT 變化多端的產(chǎn)品,并無(wú)縫集成到各種制造工作流程中。

          LUM300A1 為解鍵合工藝提供量產(chǎn)型解決方案,LUM300A2 還另外配有晶圓清洗模塊。

          ERS electronic公司副總裁兼先進(jìn)封裝設(shè)備事業(yè)部經(jīng)理Debbie-Claire Sanchez說(shuō):Luminex設(shè)備大大提高了解鍵合工藝的靈活性和效率,使我們的客戶(hù)能夠加快開(kāi)發(fā)用于人工智能、汽車(chē)和其他尖端應(yīng)用的下一代半導(dǎo)體芯片。

          適用于最大尺寸為 600 x 600 mm 晶圓和面板的半自動(dòng)版本 LUM600S1 已于今年 3 月份發(fā)布,客戶(hù)可在位于中國(guó)和德國(guó)的實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測(cè)試和評(píng)估該機(jī)器。



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