3. 

        <meter id="pryje"><nav id="pryje"><delect id="pryje"></delect></nav></meter>
          <label id="pryje"></label>
          
	
	
          
		
			
		
          
    
    	
          
  		
          
		    
          
		      
		      
		      
		    
          
  		
          
  		
          
	
          


	


          
		
          
		            
            
				
          
		
          







          


          
	
	
          
		
          新聞中心
          
	
          
	
          
	
          EEPW首頁(yè) 
	 > EDA/PCB > 業(yè)界動(dòng)態(tài) > 三井化學(xué)將量產(chǎn)光刻薄膜新品，支持ASML下一代光刻機(jī)
          
    
          

          

          


	
	
	

          
	
          
		
          
			
          三井化學(xué)將量產(chǎn)光刻薄膜新品，支持ASML下一代光刻機(jī)
          
						
          
				作者：
				時(shí)間：2024-06-19
				來(lái)源：SEMI
				
				
				
				
				收藏
			
          

			
          
				
				
			
          

			
          
			
			
          
			
			
          
				
				
			
          
                
			
          日前，日本三井化學(xué)宣布將在其巖國(guó)大竹工廠設(shè)立碳納米管 (CNT) 薄膜生產(chǎn)線，開(kāi)始量產(chǎn)半導(dǎo)體最尖端光刻機(jī)的零部件產(chǎn)品（保護(hù)半導(dǎo)體電路原版的薄膜材料“Pellicle”的新一代產(chǎn)品）。
          本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/202406/460031.htm
          據(jù)悉，此種CNT薄膜可以實(shí)現(xiàn)92%以上的高EUV透射率和超過(guò)1kW曝光輸出功率的光阻能力。三井化學(xué)預(yù)期年產(chǎn)能力為5000張，生產(chǎn)線預(yù)計(jì)于2025年12月完工，可為ASML將推出的下一代高數(shù)值孔徑、高輸出EUV光刻機(jī)提供支持。
          
				
            
                
			
							
          
                
			              
              
            
          
		
          
		
          
		
          
		
          
		
          
			
            
				
          • 
					
					
			  	
            • 
			  	
          • 
					
					
			  	
            • 
			  	
          • 
					
					
			  	
            • 
				
          • 
					
					
				
            • 
				
          • 
					
					
				
            • 
			
          
			
          
		
          
		
		
          
		
          
			
			
		
          
        
		
          
			
          關(guān)鍵詞：
            			            光刻機(jī)
                        納米管薄膜
                        ASML
                        
            
          
            
			
          
		
          	
		

	

          
	
	
          
		
          
			
          評(píng)論
          					
		
          
		
          
			
          
			
				
          
					
					
          
						
                        
					
          
				
          
                		
						
						
			
          
		
          
		
          
		
          
            
			
            
		
          
	
          
	
          
	
          
		

          
	
          
		
          相關(guān)推薦
          					
	
          
	
    
	

          		

          


	
          
	
          
		
		
	
          


    
          
        
          技術(shù)專(zhuān)區(qū)
          
      
          
      
          
			
      
           
       

          

   










          
	
          
	    關(guān)閉
	
          
	
	

          







	
	





          



          


看屁屁www成人影院,亚洲人妻成人图片,亚洲精品成人午夜在线,日韩在线 欧美成人

(function(){
    var bp = document.createElement('script');
    var curProtocol = window.location.protocol.split(':')[0];
    if (curProtocol === 'https') {
        bp.src = 'https://zz.bdstatic.com/linksubmit/push.js';
    }
    else {
        bp.src = 'http://push.zhanzhang.baidu.com/push.js';
    }
    var s = document.getElementsByTagName("script")[0];
    s.parentNode.insertBefore(bp, s);
})();