英特爾兩臺(tái)High NA EUV光刻機(jī)已投產(chǎn)，單季完成3萬(wàn)片晶圓

據(jù)路透社2月24日?qǐng)?bào)道，英特爾資深首席工程師Steve Carson在美國(guó)在加利福尼亞州圣何塞舉行的一場(chǎng)會(huì)議上表示，英特爾已經(jīng)安裝的兩臺(tái)ASML High NA EUV光刻機(jī)正在其晶圓廠生產(chǎn)，早期數(shù)據(jù)表明它們的可靠性大約是上一代光刻機(jī)的兩倍。

Steve Carson指出，新的High NA EUV光刻機(jī)能以更少曝光次數(shù)完成與早期設(shè)備相同的工作，從而節(jié)省時(shí)間和成本。英特爾工廠的早期結(jié)果顯示，High NA EUV 機(jī)器只需要一次曝光和“個(gè)位數(shù)”的處理步驟，即可完成早期機(jī)器需要三次曝光和約40個(gè)處理步驟的工作。目前英特爾已經(jīng)利用High NA EUV光刻機(jī)在一個(gè)季度內(nèi)生產(chǎn)了3萬(wàn)片晶圓。

資料顯示，ASML的High NA EUV（EXE:5000）的分辨率為 8nm，可以實(shí)現(xiàn)比現(xiàn)有EUV光刻機(jī)小1.7倍物理特征的微縮，從將單次曝光的晶體管密度提高2.9倍，可以使芯片制造商能夠簡(jiǎn)化其制造流程。晶圓生產(chǎn)速度達(dá)到了每小時(shí)400至500片晶圓，是當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn)EUV每小時(shí)200片晶圓的2-2.5倍的速度，即提升了100%至150%，將進(jìn)一步提升產(chǎn)能，并降低成本。

英特爾此前就曾表示，High NA EUV光刻機(jī)將會(huì)首先會(huì)被用到其最新的Intel 18A制程的相關(guān)開(kāi)發(fā)，預(yù)計(jì)基于Intel 18A制程的PC芯片將于今年下半年量產(chǎn)。此外，英特爾還計(jì)劃在下一代的Intel 14A制程中全面導(dǎo)入High NA EUV設(shè)備來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)，但英特爾尚未公布該制程的量產(chǎn)時(shí)間。(編輯：芯智訊-浪客劍)