降低成本提高效率 MEMS動(dòng)態(tài)晶圓測(cè)試系統(tǒng)

STI3000動(dòng)態(tài)晶圓級(jí)測(cè)試系統(tǒng)采用STI的專利技術(shù)（DST），通過一個(gè)驅(qū)動(dòng)電壓在晶圓上驅(qū)動(dòng)MEMS移動(dòng)，從而測(cè)量由此產(chǎn)生的相關(guān)各種特性，是目前全世界最先進(jìn)有效的晶圓級(jí)MEMS測(cè)試系統(tǒng)。

STI3000測(cè)試系統(tǒng)可以大大提高測(cè)試效率，降低新產(chǎn)品的開發(fā)及生產(chǎn)成本。

STI3000 MEMS動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)

STI測(cè)試系統(tǒng)由各基礎(chǔ)系統(tǒng)模塊構(gòu)成，包括計(jì)算機(jī)、電源、測(cè)試頭，探針卡，軟件和擴(kuò)充口。根據(jù)客戶測(cè)試需求在測(cè)試頭處嵌入不同的探針卡做測(cè)試。如客戶變更了應(yīng)用測(cè)試，只需簡(jiǎn)單更換測(cè)試程序和探針針卡即可。整套系統(tǒng)具有體積小，兼容性強(qiáng)，測(cè)試快速且穩(wěn)定等顯著優(yōu)點(diǎn)。

動(dòng)態(tài)測(cè)試參數(shù)

* 頻率響應(yīng) * 共振頻率 * 彈性穩(wěn)定率 * 陀螺儀正交誤差

* 機(jī)械滯后 * 工作潛能（eV） * 厄密性 * 靜態(tài)阻尼

* 顆粒阻尼 * Q值 * 動(dòng)態(tài)屬性 * 交流性能

動(dòng)態(tài)測(cè)試的優(yōu)點(diǎn)

晶圓級(jí)動(dòng)態(tài)測(cè)試可以：

– 縮短整個(gè)晶圓及器件的測(cè)試時(shí)間

– 將部分器件測(cè)試時(shí)間轉(zhuǎn)移到晶圓測(cè)試，更快速

– 通過數(shù)據(jù)分析降低產(chǎn)品的不一致性

– 提高產(chǎn)量

– 減少器件級(jí)的校準(zhǔn)及測(cè)試

– 縮短產(chǎn)品從生產(chǎn)到進(jìn)入市場(chǎng)的時(shí)間

– 模擬測(cè)試設(shè)計(jì)是否完善

– 大大降低整個(gè)生產(chǎn)測(cè)試成本

MEMS傳統(tǒng)測(cè)試方法和動(dòng)態(tài)測(cè)試方法對(duì)比