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降低成本提高效率 MEMS動(dòng)態(tài)晶圓測(cè)試系統(tǒng)

作者：時(shí)間：2013-10-14 來源：網(wǎng)絡(luò)

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ans: 2; widows: 2; webkit-text-stroke-width: 0px">一個(gè)MEMS電容的加速度計(jì)通過兩種生產(chǎn)流程來制造。一種流程使用傳統(tǒng)的晶圓測(cè)試方法，而另外一種流程使用動(dòng)態(tài)晶圓測(cè)試方法。STI3000動(dòng)態(tài)晶圓測(cè)試的數(shù)據(jù)使得最終器件級(jí)測(cè)試的合格率提高了40%。

MEMS傳統(tǒng)測(cè)試方法和動(dòng)態(tài)測(cè)試方法對(duì)比

降低成本提高效率 MEMS動(dòng)態(tài)晶圓測(cè)試系統(tǒng)

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