中微蝕刻機(jī)與臺(tái)積電合作 攜手45納米前進(jìn)32納米

        中微是目前大陸最具潛力的本土半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)者，其設(shè)備已獲得中芯國(guó)際12寸廠采用，主要投資者包括知名創(chuàng)投業(yè)者華登(Walden)、LightSpeed、Redpoint，以及投資銀行高盛(Goldman Sachs)、半導(dǎo)體業(yè)者高通(Qualcomm)及科磊(KLA-Tencor)等。

        中微表示，2008年10月完成C系列(Series C)集資動(dòng)作后，所籌集資金1.69億美元可因應(yīng)到2011年?duì)I運(yùn)所需不成問(wèn)題。中微除投資者大有來(lái)頭，最近與國(guó)際大廠的纏訟案也成為外界矚目焦點(diǎn)，包括對(duì)上應(yīng)用材料及科林研發(fā)等，據(jù)了解，與應(yīng)用材料的商業(yè)秘密官司，有可能在近日內(nèi)朝向和解方向發(fā)展，而科林在新竹提出的專利權(quán)訴訟，則將于近日內(nèi)開(kāi)庭，中微堅(jiān)稱設(shè)備專利都是自行研發(fā)。

        據(jù)了解，中微目前為就近臺(tái)灣市場(chǎng)，也在新竹設(shè)立辦公室就近服務(wù)客戶，目前中微已打入臺(tái)積電供應(yīng)商行列，其65/45納米邏輯蝕刻機(jī)臺(tái)正在臺(tái)積電12寸廠驗(yàn)證當(dāng)中，順利的話，下半年便可出貨。此外，中微也與韓系存儲(chǔ)器大廠合作中，并已投入下1世代32納米制程技術(shù)機(jī)臺(tái)研發(fā)。

        中微在2009年半導(dǎo)體年會(huì)也獲得設(shè)備類技術(shù)獎(jiǎng)，中微表示，目前超高頻去耦型等離子蝕刻機(jī)共有2個(gè)反應(yīng)腔，每個(gè)反應(yīng)腔中都有3~4個(gè)反應(yīng)室，目前采用技術(shù)即便是國(guó)際設(shè)備大廠的專利技術(shù)，也難以達(dá)成目前中微機(jī)臺(tái)的蝕刻效率。