MEMS壓力傳感器及其應用
典型的MEMS壓力傳感器管芯(die)結構和電原理如圖7所示,左是電原理圖,即由電阻應變片組成的惠斯頓電橋,右是管芯內部結構圖。典型的MEMS壓力傳感器管芯可以用來生產各種壓力傳感器產品,如圖8所示。MEMS壓力傳感器管芯可以與儀表放大器和ADC管芯封裝在一個封裝內(MCM),使產品設計師很容易使用這個高度集成的產品設計最終產品。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/95279.htmMEMS壓力傳感器Die的設計、生產、銷售鏈
MEMS壓力傳感器Die的設計、生產、銷售鏈如圖9所示。目前IC的4英寸圓晶片生產線的大多數(shù)工藝可為MEMS生產所用;但需增加雙面光刻機、濕法腐蝕臺和鍵合機三項MEMS特有工藝設備。壓力傳感器產品生產廠商需要增加價格不菲的標準壓力檢測設備。
風速傳感器相關文章:風速傳感器原理 電容傳感器相關文章:電容傳感器原理 電接點壓力表相關文章:電接點壓力表原理
評論