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MEMS壓力傳感器及其應用

作者：顏重光華潤矽威科技(上海)有限公司時間：2009-06-15 來源：電子產品世界

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本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/95279.htm

　　參考文獻：

　　[1]顏重光.XSY系列遠傳數(shù)字壓力表[J].傳感器技術,1990,01

　　[2]顏重光.兩線制壓力變送器[J].電子技術,1992,11

　　[3]顏重光.新型實用傳感器應用指南[M].北京:電子工業(yè)出版社,1998

　　[4]顏重光.TPMS的設計方案思考[J].電子設計應用,2004,12

　　[5]顏重光.傳統(tǒng)半導體廠商對MEMS的思考[R/OL].(2008-01-31). http://www.ex-cimer.com/article/78478.htm

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關鍵詞： 華潤矽威 集成電路 MEMS壓力傳感器 惠斯頓電橋 硅薄膜應力杯 硅壓阻式壓力傳感器 硅電容式壓力傳感器 200906

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