應(yīng)用材料公司推出SmartMove系統(tǒng)
近日,應(yīng)用材料公司宣布推出SmartMove系統(tǒng),這是半導體產(chǎn)業(yè)第一個面向非自動化200mm和300mm芯片制造廠的全面硅片管理解決方案。SmartMove系統(tǒng)整合了應(yīng)用材料公司已經(jīng)通過生產(chǎn)驗證的ActivityManager產(chǎn)流程自動化軟件和來自Intellion公司的LotTrack技術(shù),后者是一個創(chuàng)新的基于無線電和超聲波頻率的硅片盒跟蹤系統(tǒng)。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/96470.htm通過SmartMove技術(shù),客戶的制造執(zhí)行系統(tǒng)會持續(xù)收到硅片盒的確切位置信息,“需要注意”和“下一步去哪里”等信息會被發(fā)送到每一個硅片盒的顯示面板上,這樣操作員就不必手動輸入數(shù)據(jù),避免了硅片盒的錯誤放置,并降低了周期時間,從而提高了工作效率。
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