臺積電將低功耗高k金屬柵工藝納入28納米技術(shù)藍(lán)圖

　　臺積電24日宣布已將低耗電工藝納入28納米高介電層/金屬閘(High-k Metal Gate，HKMG)工藝的技術(shù)藍(lán)圖，預(yù)計于2010年第三季進(jìn)行試產(chǎn)(Risk Production)。

　　臺積電自2008年九月發(fā)表28納米技術(shù)以來，技術(shù)的發(fā)展與進(jìn)入量產(chǎn)的時程皆按預(yù)期計劃進(jìn)行。就試產(chǎn)時程順序而言，低耗電氮氧化硅(簡稱28LP)工藝預(yù)計于2010年第一季底進(jìn)行試產(chǎn)，高效能高介電層/金屬閘(簡稱28HP)工藝則預(yù)計于2010年第二季底開始試產(chǎn)，而低耗電高介電層/金屬閘(簡稱28HPL)工藝的試產(chǎn)時程將繼前兩者之后推出，于2010年第三季進(jìn)行試產(chǎn)。

　　臺積電采用gate-last方法的28HPL工藝是28HP工藝的延伸，強(qiáng)調(diào)低耗電、低漏電、但仍能維持中高效能。至于28HPL工藝則適用于行動電話、智能上網(wǎng)本(smart netbook)、無線通訊、可攜式消費(fèi)性電子等多種的低耗電應(yīng)用。

　　28HPL工藝有完備的元件支援，適用于通用型市場應(yīng)用的系統(tǒng)單晶片(SoC)平臺，與28LP工藝在特色上各有所強(qiáng)。28LP因延伸自氮氧化硅(SiON)工藝，因而成本更低、且有利于快速上市，尤其適用于手機(jī)與手持裝置的應(yīng)用。

　　此外，臺積電于2008年九月宣布之28HP工藝亦采用gate-last 方法，適合中央處理器(CPU)、繪圖處理器(GPU)、芯片組(Chipset)與可程式化閘陣列(FPGA)、游戲主機(jī)與行動計算等高效能導(dǎo)向的應(yīng)用。

　　臺積電研究發(fā)展副總經(jīng)理孫元成博士表示：“在技術(shù)發(fā)展的過程中，我們采用gate-last的方式來發(fā)展28HPL相關(guān)技術(shù)，就其在電晶體特性、利于高階與低階應(yīng)用的優(yōu)勢及可制造性的這些方面，都比gate-first方法來得好。”

　　臺積電先進(jìn)技術(shù)事業(yè)資深副總經(jīng)理劉德音博士表示：“在HKMG工藝中的低耗電應(yīng)用上，我們已與客戶共同發(fā)展了一段時間。將28HPL納入28納米工藝系列，再加上28LP與28HP兩項(xiàng)工藝，代表臺積電目前提供給業(yè)界的是最全面的28納米工藝組合。”

　　為了將28納米工藝的功效在全系列各式不同客戶產(chǎn)品中充分發(fā)揮，臺積電已與客戶和設(shè)計伙伴密切合作，在我們的開放創(chuàng)新平臺(Open Innovation Platform，OIP)上提供完備的設(shè)計架構(gòu)。開放創(chuàng)新平臺系由臺積電主導(dǎo)，并開放給客戶與伙伴參與。