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EUV蓄勢待發(fā) Carl Zeiss向ASML出貨EUV光學系統(tǒng)

作者：時間：2009-09-18 來源：semi

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　　德國Carl Zeiss SMT AG已向半導體設(shè)備商ASML出貨首臺EUV光學系統(tǒng)。該公司已使EUV光學系統(tǒng)達到了生產(chǎn)要求。

本文引用地址：http://www.ex-cimer.com/article/98258.htm

　　光學系統(tǒng)是EUV設(shè)備的核心模塊，首臺EUV設(shè)備預計將在2010年出貨。幾周前，美國公司Cymer完成了EUV光源的開發(fā)，EUV光源是EUV光刻設(shè)備另一個關(guān)鍵模塊。該技術(shù)將使芯片制造商進一步縮小芯片的特征尺寸，提高生產(chǎn)效率。

　　據(jù)Carl Zeiss 介紹，目前出貨的光學系統(tǒng)已經(jīng)研發(fā)了約15年。

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關(guān)鍵詞： ASML EUV 光刻設(shè)備

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