Air Liquide將為中芯國際深圳晶圓廠供氣
中芯國際選擇了Air Liquide作為長期氣體供應商,為其2010年初投產的深圳200mm和300mm晶圓廠供應氣體。Air Liquide將投入1300萬美元用于設施改造以滿足中芯國際的需求。
本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/98720.htm“深圳是中國半導體產業(yè)重鎮(zhèn),此次新建的晶圓廠是中國南方首座200mm以上晶圓廠,這對于中芯國際和深圳在半導體產業(yè)的布局戰(zhàn)略都有非常重要的意義。”中芯國際副總裁Samuel Tsou說道,“我們決定仍然與Air Liquide合作,Air Liquide在全球范圍內的專業(yè)服務為我們提供了良好的幫助。”
根據條款,Air Liquide將向中芯國際供應氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等氣體。
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