臺(tái)內(nèi)存芯片廠商制程轉(zhuǎn)換計(jì)劃傳因設(shè)備交貨期拖延而更變

　　據(jù)內(nèi)存業(yè)者透露，由于沉浸式光刻設(shè)備的交貨日程有所延長(zhǎng)，因此南亞，華亞(南亞與鎂光的合資廠)兩家內(nèi)存芯片制造商今年轉(zhuǎn)向50nm級(jí)別制程節(jié)點(diǎn)的計(jì)劃有 可能會(huì)后延.而另一家臺(tái)系內(nèi)存芯片廠商瑞晶(力晶與爾必達(dá)的合資廠)計(jì)劃于今年二月份開始的光刻設(shè)備導(dǎo)入計(jì)劃也有可能會(huì)后延兩個(gè)月左右的時(shí)間。

　　而南亞和華亞則澄清稱其購(gòu)買的沉浸式光刻設(shè)備將以分期到貨的形式進(jìn)場(chǎng)，并宣稱此前進(jìn)場(chǎng)的設(shè)備已經(jīng)按原計(jì)劃完成了進(jìn)貨。

　　按南亞和華亞的計(jì)劃，他們將于年底前完成向鎂光50nm制程技術(shù)的轉(zhuǎn)換工作，并將于下半年開始試產(chǎn)40nm制程級(jí)別的內(nèi)存芯片產(chǎn)品。而瑞晶公司則計(jì)劃于今年第二季度開始啟用45nm制程技術(shù)制造內(nèi)存芯片.

　　最近Gartner公司曾有一份報(bào)告指出，由于設(shè)備廠商的193沉浸式光刻機(jī)供貨數(shù)量有限，而這種設(shè)備又對(duì)芯片廠商制程技術(shù)升級(jí)起著極為關(guān)鍵的作用，因此今年芯片產(chǎn)用于采購(gòu)設(shè)備的支出增長(zhǎng)將極為有限，而據(jù)原先的預(yù)計(jì)，今年芯片廠商在設(shè)備采購(gòu)方面的支出將有56.6%的增長(zhǎng)幅度。

　　此外，據(jù)光刻機(jī)廠商ASML表示，在芯片廠商制程技術(shù)升級(jí)浪潮的驅(qū)動(dòng)下，該公司接到的光刻機(jī)訂單數(shù)量出現(xiàn)了上升態(tài)勢(shì)。