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          High-NA EUV光刻機(jī)或?qū)⒊蔀橛⑻貭柕霓D(zhuǎn)機(jī)

          作者:陳玲麗 時(shí)間:2024-05-09 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

          上個(gè)月晶圓代工(Intel Foundry)宣布,已在美國俄勒岡州希爾斯伯勒的技術(shù)研發(fā)基地完成了業(yè)界首臺(tái) 組裝工作。隨后開始在Fab D1X進(jìn)行校準(zhǔn)步驟,為未來工藝路線圖的生產(chǎn)做好準(zhǔn)備。

          本文引用地址:http://www.ex-cimer.com/article/202405/458516.htm

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          運(yùn)營新模式

          英特爾是少數(shù)采用IDM模式的廠商,完整覆蓋了從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)再到銷售的全過程,產(chǎn)品絕大部分也都是在內(nèi)部工廠制造。不同于英偉達(dá)、AMD等無工廠模式廠商只做的設(shè)計(jì),芯片制造環(huán)節(jié)完全交由代工廠完成;或者以臺(tái)積電、格芯為代表的代工廠模式,只負(fù)責(zé)芯片的代工及封裝環(huán)節(jié)。

          從14nm到10nm的艱難量產(chǎn),讓英特爾在2021年提出IDM2.0戰(zhàn)略,打破“自家芯片自家造”的傳統(tǒng),將芯片生產(chǎn)獨(dú)立運(yùn)營出來,以契合市場需求。在該戰(zhàn)略中,英特爾對外開放自己的代工服務(wù),同時(shí)擴(kuò)大采用第三方代工產(chǎn)能:不僅可以委托外部芯片代工廠生產(chǎn)自己的芯片,比如預(yù)訂臺(tái)積電3nm的產(chǎn)能;也需要發(fā)展自己的芯片代工業(yè)務(wù),成立英特爾代工服務(wù)IFS業(yè)務(wù),重返芯片代工行業(yè)。

          今年2月,英特爾還首次推出面向AI時(shí)代的系統(tǒng)級代工 —— 英特爾代工(Intel Foundry),提供了從工廠網(wǎng)絡(luò)到軟件的全棧式優(yōu)化。值得注意的是,從2024年第一季度開始,英特爾的財(cái)務(wù)架構(gòu)將拆分為兩大板塊:英特爾代工和英特爾產(chǎn)品。英特爾代工將成為一個(gè)獨(dú)立的運(yùn)營部門,包括代工技術(shù)開發(fā)、代工制造和供應(yīng)鏈,以及代工服務(wù)(原 “英特爾代工服務(wù)”),擁有自己的損益表。而英特爾產(chǎn)品則將傳統(tǒng)的客戶端計(jì)算事業(yè)部(CCG)、數(shù)據(jù)中心和人工智能事業(yè)部(DCAI)以及網(wǎng)絡(luò)與邊緣事業(yè)部(NEX)全面整合。

          新的運(yùn)營模式在英特爾代工(由制造部門組成)和英特爾產(chǎn)品(由產(chǎn)品業(yè)務(wù)部門組成)之間建立了代工關(guān)系,將按市場定價(jià)核算來自外部客戶和英特爾產(chǎn)品的收入以及過往分配給英特爾產(chǎn)品線部門的研發(fā)和制造成本。而通過將代工業(yè)務(wù)獨(dú)立核算,英特爾能夠更清晰地展示其在制造領(lǐng)域的競爭力和盈利能力,同時(shí)也能夠更好地與業(yè)界進(jìn)行業(yè)績對照,推動(dòng)各部門做出更好的決策。此外,這一調(diào)整還將大幅節(jié)約成本、提高運(yùn)營效率和資產(chǎn)價(jià)值、增強(qiáng)成本競爭力,有助于英特爾在全球市場中重新奪回技術(shù)領(lǐng)先地位。

          這不僅是一次簡單的結(jié)構(gòu)重組,更是對未來戰(zhàn)略方向的明確宣示,體現(xiàn)了英特爾向代工運(yùn)營模式即Intel Foundry的轉(zhuǎn)變,實(shí)現(xiàn)到2030年成為全球第二大代工廠的目標(biāo)。目前英特爾正在不斷加強(qiáng)代工基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè),計(jì)劃未來5年投資1000億美元擴(kuò)大先進(jìn)芯片制造能力。

          盡管雄心勃勃,但由于四年五個(gè)節(jié)點(diǎn)及路線演進(jìn)、生態(tài)構(gòu)建和產(chǎn)能擴(kuò)建等巨額的投入,英特爾披露其代工業(yè)務(wù)去年?duì)I收同比下降31.2%至189億美元,經(jīng)營虧損70億美元,同比擴(kuò)大34.6%。對英特爾來說,芯片制造能力是獨(dú)有的優(yōu)勢,但也意味著高投入和沉重的負(fù)擔(dān),晶圓廠建置成本極高。根據(jù)機(jī)構(gòu)估算,建造一座月產(chǎn)量在5萬片晶圓的2nm工廠需要的成本約為280億美元,而同樣產(chǎn)能的3nm工廠的成本約為200億美元。

          2024年有可能將是英特爾芯片制造業(yè)務(wù)經(jīng)營虧損最嚴(yán)重的一年,從今年一季度財(cái)報(bào)來看,該業(yè)務(wù)運(yùn)營虧損25億美元,幾乎是上一季度的兩倍?!八哪晡鍌€(gè)制程節(jié)點(diǎn)”計(jì)劃的啟動(dòng)成本達(dá)到頂峰,而且大部分產(chǎn)量都在之前的工藝節(jié)點(diǎn)上,經(jīng)濟(jì)性缺乏競爭力。然而隨著完成“四年五個(gè)制程節(jié)點(diǎn)”計(jì)劃,實(shí)現(xiàn)制程工藝重回領(lǐng)先地位,通過產(chǎn)量組合轉(zhuǎn)向領(lǐng)先的節(jié)點(diǎn),運(yùn)營利潤率預(yù)計(jì)將得到提升。

          去年末,ASML向英特爾交付了首臺(tái) EUV,型號為TWINSCAN EXE:5000的系統(tǒng)。 EUV光刻技術(shù)將在先進(jìn)芯片開發(fā)和下一代處理器的生產(chǎn)中發(fā)揮關(guān)鍵作用,英特爾打算在Intel 14A工藝引入,最快會(huì)在2026年到來。

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          光刻設(shè)備中的NA代表數(shù)值孔徑表示光學(xué)系統(tǒng)收集和聚光的能力,數(shù)值越高,聚光的能力就越強(qiáng)。相比于當(dāng)前EUV設(shè)備的0.33數(shù)值孔徑,新一代High-NA EUV設(shè)備的NA值直接增加到了0.55,擁有1.7倍于目前0.33NA EUV的一維密度,在二維尺度上可實(shí)現(xiàn)190%的密度提升,從而實(shí)現(xiàn)更快的處理速度和更高的存儲(chǔ)容量。

          此前有報(bào)道稱,一臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)的價(jià)格大概為3.8億美元,是EUV(約1.83億美元)的兩倍多,ASML目前收到的訂單數(shù)量在10至20臺(tái)之間。目前ASML每年High-NA EUV光刻機(jī)的產(chǎn)能大概在5到6臺(tái),今年生產(chǎn)的這些設(shè)備將全部運(yùn)往美國的芯片制造商,而英特爾已經(jīng)獲得了明年上半年之前生產(chǎn)的大部分High-NA EUV光刻機(jī),這很大程度上得益于新設(shè)備出現(xiàn)時(shí),英特爾選擇了搶先下單。三星和SK海力士則預(yù)計(jì)在明年下半年也將得到High-NA EUV光刻機(jī)。

          2nm正成為關(guān)鍵戰(zhàn)場

          2011年英特爾首發(fā)了FinFET工藝,22nm FinFET工藝當(dāng)時(shí)遠(yuǎn)超臺(tái)積電、三星的28nm,技術(shù)優(yōu)勢可謂是遙遙領(lǐng)先,然而在14nm節(jié)點(diǎn)之后,英特爾接連遭受了重創(chuàng),無法跟上臺(tái)積電推出10nm、7nm和5nm工藝的節(jié)奏?,F(xiàn)在,英特爾正欲借2nm重返半導(dǎo)體代工領(lǐng)先地位,PC處理器Arrow Lake將第一個(gè)采用2nm節(jié)點(diǎn)的芯片,或?qū)⒊蔀榫A代工廠中最快使2nm芯片商業(yè)化的公司。

          按照半導(dǎo)體行業(yè)的摩爾定律,集成電路可容納的晶體管數(shù)目,每隔18個(gè)月便會(huì)增加一倍,性能相應(yīng)也增加一倍。臺(tái)積電董事長劉德音最近在IEEE網(wǎng)站上署名發(fā)表文章,把半導(dǎo)體行業(yè)過去50年縮小芯片尺寸的努力比作“在隧道中行走”。如今距離摩爾定律的極限越來越近,行業(yè)已經(jīng)走到隧道的盡頭,半導(dǎo)體技術(shù)將變得更加難以發(fā)展,2nm將會(huì)是芯片巨頭搶灘的關(guān)鍵一戰(zhàn)。

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          在芯片制程尺寸不斷縮小的過程中,芯片廠商需要解決的問題更多,因此在新制程方面都需要改革。GAAFET架構(gòu)全稱全包圍柵場效應(yīng)晶體管,與突破14nm制程以下沿用的FinFET架構(gòu)不同,GAAFET利用柵電極覆蓋電流通道的四個(gè)側(cè)面,而非傳統(tǒng)的三個(gè),能夠讓晶體管繼續(xù)縮小下去而不漏電,從而允許在降低運(yùn)行功率的情況下顯著提高性能。類似具有里程碑意義的方案還包括晶圓背面供電,相較于傳統(tǒng)供電,這項(xiàng)技術(shù)能夠降低電壓,從而減少功耗,顯著提升芯片性能的表現(xiàn)。

          為了滿足越來越高、越來越復(fù)雜的算力需求,同時(shí)提高能效比,先進(jìn)封裝在芯片制造中的作用正變得越來越關(guān)鍵,能夠提升芯片互連密度,在單個(gè)封裝中集成更多功能單元。先進(jìn)封裝也將支持英特爾的產(chǎn)品部門和代工客戶的異構(gòu)集成需求,讓來自不同供應(yīng)商、用不同制程節(jié)點(diǎn)打造的芯粒(小型的模塊化芯片)更好地協(xié)同工作,提高靈活性和性能,降低成本和功耗。目前英特爾的先進(jìn)封裝有兩大支柱,分別是EMIB和Foveros。

          · EMIB簡單來說就是把不同的芯片放在同一塊平面上相互連接。傳統(tǒng)的2.5D封裝是在芯片和基板間的硅中介層上進(jìn)行布線,EMIB則是通過一個(gè)嵌入基板內(nèi)部的單獨(dú)的芯片完成互連,從而將芯片互連的凸點(diǎn)間距降低到45微米,改善了設(shè)計(jì)的簡易性和成本。

          · Foveros是英特爾的3D封裝技術(shù),在原理上同樣并不復(fù)雜,就是在垂直層面一層一層地堆疊獨(dú)立的模塊,就像建高樓大廈一樣。而高樓需要貫通的管道用于供電供水,F(xiàn)overos就是通過復(fù)雜的硅通孔技術(shù)實(shí)現(xiàn)垂直層面的互連。

          作為新《芯片法案》的一部分,美國政府將為英特爾提供85億美元的直接撥款(是目前發(fā)放的同類款項(xiàng)中最大的一筆)和110億美元的貸款,以及未來5年25%的稅收減免,用以推進(jìn)其在亞利桑那州、新墨西哥州、俄亥俄州和俄勒岡州的工廠建設(shè);此外,在歐盟出臺(tái)歐洲版“芯片法案”的430億歐元補(bǔ)貼計(jì)劃中,英特爾也入選了首批名單,其在德國總投資300億歐元建設(shè)的新廠是該法案第一個(gè)落地項(xiàng)目。這些都為英特爾加碼晶圓代工注入了新動(dòng)能。

          隨著以GPU為主的AI芯片需求快速膨脹,芯片產(chǎn)能瓶頸日益凸顯,比如英偉達(dá)主要通過臺(tái)積電代工,但受臺(tái)積電CoWoS先進(jìn)封裝產(chǎn)能限制,2023年下半年,英偉達(dá)就出現(xiàn)了高性能計(jì)算卡交貨周期普遍延長至12-16個(gè)月的情況。這一背景下,英特爾布局芯片代工的重要性顯著。

          英特爾加入AI算力戰(zhàn)爭

          一直以來,無論是PC市場還是數(shù)據(jù)中心市場,英特爾的優(yōu)勢均集中在CPU(中央處理器)領(lǐng)域。2021年,人工智能技術(shù)快速發(fā)展,Al服務(wù)器通常搭載以GPU(圖形處理器)為主的加速芯片,GPU開始成為全球數(shù)據(jù)中心增量市場的主角。根據(jù)Verified Market Research的數(shù)據(jù),2021年全球GPU市場規(guī)模335億元,2028年全球GPU市場規(guī)模有望達(dá)到4774億元,數(shù)據(jù)中心市場的主導(dǎo)玩家也成為了英偉達(dá)。

          現(xiàn)在英特爾需要面對英偉達(dá)、AMD等競爭對手,前者有H100萬、A100系列,后者有新的數(shù)據(jù)中心加速器產(chǎn)品MI300X。除此之外,亞馬遜AWS和微軟在內(nèi)的一些全球最大的科技公司,正在設(shè)計(jì)自己的處理器,讓數(shù)據(jù)中心市場競爭加劇。從最新布局來看,英特爾仍將加速押注數(shù)據(jù)中心:4月份,發(fā)布性能最強(qiáng)的新一代Gaudi 3 AI 加速芯片,對標(biāo)英偉達(dá)H100。

          Gaudi 3 AI芯片采用臺(tái)積電5nm工藝,由64個(gè)AI定制和可編程TPC和8個(gè)MME組成,每個(gè)MME都能夠執(zhí)行64000個(gè)并行運(yùn)算,支持128GB HBMe2內(nèi)存容量、3.7TB內(nèi)存帶寬和96MB板載靜態(tài)隨機(jī)存取內(nèi)存(SRAM)。相比上代產(chǎn)品,英特爾Gaudi 3帶來4倍(400%)的BF16 AI計(jì)算能力提升,1.5倍的內(nèi)存帶寬以及3倍的網(wǎng)絡(luò)帶寬提升。同時(shí),在AI模型算力中,相比于英偉達(dá)H100 GPU,Gaudi3 AI芯片的模型訓(xùn)練速度、推理速度分別提升40%和50%,平均性能提高50%,能效平均提高40%,而成本僅為H100的一小部分。

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          從整體路線圖來看,AI PC、Edge AI(邊緣)、Data Center AI(數(shù)據(jù)中心)將成為英特爾三大重要的計(jì)算生態(tài)系統(tǒng),比英偉達(dá)覆蓋面積更廣,加上其開放、可擴(kuò)展的軟件和算法特性,廣泛適用于多個(gè)AI領(lǐng)域,從而推動(dòng)英特爾持續(xù)為企業(yè)客戶打造全新AI方案。英特爾正逐步構(gòu)建AI領(lǐng)域的算力基礎(chǔ)設(shè)施生態(tài),全面挑戰(zhàn)英偉達(dá)以及現(xiàn)有AI芯片市場格局,希望利用長期的AI技術(shù)積累,通過開放生態(tài)系統(tǒng)的力量,乘上AI熱潮。

          · 英特爾宣布將推出下一代酷睿Ultra客戶端處理器家族(代號Lunar Lake),將具備超過100 TOPS平臺(tái)算力,以及在神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理單元(NPU)上帶來超過46 TOPS的算力,從而為下一代AI PC提供強(qiáng)大支持。據(jù)悉,英特爾預(yù)計(jì)將于2024年出貨4000萬臺(tái)AI PC設(shè)備。

          · 英特爾還發(fā)布新的Edge芯片產(chǎn)品,包括酷睿TM Ultra、酷睿TM、凌動(dòng)處理器以及面向Edge的英特爾ArcTM GPU,預(yù)計(jì)所有新品將于本季度上市,應(yīng)用于包括零售、工業(yè)制造、醫(yī)療保健等關(guān)鍵領(lǐng)域,并將于今年獲得英特爾Tiber邊緣平臺(tái)的支持。另外,英特爾還發(fā)布Tiber業(yè)務(wù)解決方案組合,以簡化企業(yè)對生成式AI軟件服務(wù)的部署工作,預(yù)計(jì)Tiber方案將于今年第三季度全面推出。

          而最近英偉達(dá)基于BlackWell GPU架構(gòu)發(fā)布的B100又進(jìn)行了一輪大幅的升級,在性能方面遠(yuǎn)勝Gaudi 3。那么,英特爾能以Gaudi 3真正突圍嗎?其實(shí),以英特爾當(dāng)前的業(yè)績表現(xiàn)來看,不追求前沿配置,而是在控制成本的前提下大幅提升芯片性能,可能是更好的產(chǎn)品策略。若英特爾不惜一切進(jìn)行追趕,成本壓力勢必會(huì)大幅攀升,回正利潤需要更加漫長周期。因此,通過洞察市場痛點(diǎn),打造差異性產(chǎn)品,或許是更加穩(wěn)妥的選擇??梢钥吹剑⑻貭栆呀?jīng)成功拿下全球首臺(tái)高數(shù)值孔徑的EUV光刻機(jī),隨著時(shí)間的推移,這或?qū)⒊掷m(xù)降低英特爾的制造成本。

          不過,從行業(yè)競爭的持續(xù)以及芯片代工“重資產(chǎn)、長周期”的產(chǎn)業(yè)屬性來看,英特爾還有諸多硬仗要打。按照英特爾制程路線圖上的時(shí)間表來看,會(huì)在2025年通過Intel 18A“翻盤”,但是制程路線圖上的時(shí)間表只是“工藝的時(shí)間表”,而不是產(chǎn)品落地的時(shí)間表,英特爾的目標(biāo)能否實(shí)現(xiàn)還是要看采用相關(guān)工藝的產(chǎn)品何時(shí)落地。其次,英特爾代工新模式在服務(wù)外部客戶、開拓更大市場上需要一定適應(yīng)期,才能真正成為尖端芯片代工市場的重要參與者。



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