國產(chǎn)光刻膠通過量產(chǎn)驗證，武漢太紫微公司 T150 A 分辨率達(dá) 120nm

10 月 15 日消息，據(jù)武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)管理委員會（中國光谷）今日消息，光谷企業(yè)在半導(dǎo)體專用光刻膠領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)重大突破：

武漢太紫微光電科技有限公司（以下簡稱“太紫微公司”）推出的 T150 A 光刻膠產(chǎn)品，已通過半導(dǎo)體工藝量產(chǎn)驗證，實現(xiàn)配方全自主設(shè)計，有望開創(chuàng)國內(nèi)半導(dǎo)體光刻制造新局面。

中國光谷官方介紹稱：“該產(chǎn)品對標(biāo)國際頭部企業(yè)主流 KrF 光刻膠系列。相較于被業(yè)內(nèi)稱之為‘妖膠’的國外同系列產(chǎn)品 UV1610，T150 A 在光刻工藝中表現(xiàn)出的極限分辨率達(dá)到 120nm，且工藝寬容度更大，穩(wěn)定性更高，堅膜后烘留膜率優(yōu)秀，其對后道刻蝕工藝表現(xiàn)更為友好，通過驗證發(fā)現(xiàn) T150 A 中密集圖形經(jīng)過刻蝕，下層介質(zhì)的側(cè)壁垂直度表現(xiàn)優(yōu)異?！?/p>

查詢公開資料獲悉，太紫微公司成立于 2024 年 5 月，由華中科技大學(xué)武漢光電國家研究中心團(tuán)隊創(chuàng)立。

太紫微公司企業(yè)負(fù)責(zé)人、英國皇家化學(xué)會會員、華中科技大學(xué)教授朱明強表示：“以原材料的開發(fā)為起點，最終獲得具有自主知識產(chǎn)權(quán)的配方技術(shù)，這只是個開始，我們團(tuán)隊還會發(fā)展一系列應(yīng)用于不同場景下的 KrF 與 ArF 光刻膠，為國內(nèi)相關(guān)產(chǎn)業(yè)帶來更多驚喜。”