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EEPW首頁 >> 主題列表 >> mems壓力傳感器

mems壓力傳感器文章進(jìn)入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

激光技術(shù)在傳感器行業(yè)的應(yīng)用

根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB7665-87，傳感器定義為：能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件裝置。傳...
關(guān)鍵字： MEMS傳感器 memset MEMS壓力傳感器 MEMS交換 MEMS開關(guān) MEMS 傳感器

從傳感器的實(shí)際工作環(huán)境談稱重傳感器選用

稱重傳感器實(shí)際上是一種將質(zhì)量信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蓽y(cè)量的電信號(hào)輸出的裝置。用傳感器首先要考慮傳感器所處的實(shí)際工...
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侵蝕性介質(zhì)中傳感器的密封

汽車中使用的傳感器數(shù)量越來越多，它們?yōu)楸ＷC汽車的安全性、舒適性和降低油耗起到了關(guān)鍵作用。傳感器通常安...
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熱電阻的原理及構(gòu)造

熱電阻是中低溫區(qū)最常用的一種溫度檢測(cè)器。它的主要特點(diǎn)是測(cè)量精度高，性能穩(wěn)定。其中鉑熱電阻的測(cè)量精確度是...
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邦納超聲波傳感器提供了靈活的解決方案

科技進(jìn)步使得今天的超聲波傳感器非常堅(jiān)固耐用并有著精確的感應(yīng)能力，這些新技術(shù)使得超聲波傳感器可以更加簡(jiǎn)...
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什么是加速度傳感器？

加速度傳感器是一種能夠測(cè)量加速力的電子設(shè)備。加速力就是當(dāng)物體在加速過程中作用在物體上的力，就好比地球引...
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旋轉(zhuǎn)式光電編碼器的設(shè)計(jì)動(dòng)向

光電編碼器是機(jī)械運(yùn)動(dòng)控制中測(cè)量轉(zhuǎn)動(dòng)物體位置（角度）與速度的傳感器，它有旋轉(zhuǎn)式與直線式兩種，其中旋轉(zhuǎn)式光電編碼...
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針對(duì)塑料擠出機(jī)的PID溫度控制器的研制

引言PID控制問世至今已有60多年的歷史，采用PID（比例-積分-微分）控制設(shè)計(jì)的溫度控制器可以消除慣性溫度誤差，PID...
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編碼器選型參數(shù)簡(jiǎn)介

傳感器--將要測(cè)量的物理量轉(zhuǎn)換成可讀取、處理的另一個(gè)物理量，現(xiàn)代控制中最常用的就是電信號(hào)。如果把計(jì)算...
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SM5420壓力傳感器在進(jìn)氣歧管中的應(yīng)用

進(jìn)氣歧管絕對(duì)壓力傳感器（ManifoldAbsolutelyPressureSensor,MAP）也稱進(jìn)氣壓力傳感器用于D型汽油噴射系統(tǒng),...
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壓力傳感器在空壓機(jī)安全管理系統(tǒng)中的應(yīng)用

在安全管理系統(tǒng)中，壓力傳感器實(shí)現(xiàn)側(cè)氣囊控制。空壓機(jī)安全管理系統(tǒng)也是廣泛使用傳感器的領(lǐng)域。空壓機(jī)側(cè)邊氣囊...
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光纖光電傳感器解決掃描檢測(cè)難題

在輸送設(shè)備、PCB制造機(jī)械、文件處理設(shè)備或者制藥包裝業(yè)中，識(shí)別和檢測(cè)當(dāng)屬其中最困難且急需解決的問題之一。...
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醫(yī)療器械應(yīng)用中的傳感器

在醫(yī)療器械應(yīng)用中，一個(gè)很小的現(xiàn)場(chǎng)失效問題就是關(guān)系到患者生命健康的重大事件。日新月異的傳感器技術(shù)可提供更...
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利用高精度光纖間距傳感器進(jìn)行機(jī)床監(jiān)控

想要經(jīng)濟(jì)地處理能源和資源問題，機(jī)床和設(shè)備就必須在連續(xù)的使用過程中被監(jiān)控。為此，一種易于集成的傳感器技術(shù)便...
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在消費(fèi)電子設(shè)備中集成MEMS運(yùn)動(dòng)處理方案

對(duì)設(shè)備在三維空間中的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量及智能處理的運(yùn)動(dòng)處理技術(shù)，將是下一個(gè)重大的革命性技術(shù)，會(huì)對(duì)未來的手持消費(fèi)...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應(yīng)用于壓力傳感器和加速度計(jì)，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢(shì)：成本低，應(yīng)力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應(yīng)力變化，相應(yīng)的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細(xì) ]

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