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mems壓力傳感器文章進入mems壓力傳感器技術(shù)社區(qū)

TPMS壓力傳感器介紹：NPP301與SM5420

汽車輪胎壓力監(jiān)視系統(tǒng)（TPMS）主要用于汽車行駛時實時的對輪胎氣壓進行自動監(jiān)測，對輪胎漏氣和低氣壓進行報警。目...
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傳感器在土工測試中應用及其選用原則

1．引言隨著科技的迅速發(fā)展，大量的工程測試問題不斷的出現(xiàn)，各種傳感器在土工測試中也正在得到廣泛的應用，如在鐵...
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硅壓力傳感器的疑難問題

google_protectAndRun(ads_core.google_render_ad,google_handleError,google_render_ad);硅壓力傳感...
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一種有源濾波器中電流傳感器噪聲抑制電路設(shè)計

概述：有源電力濾波器實際運行過程中存在大量實際的噪音干擾，這些干擾嚴重影響濾波器的工作效果。給出對于有源...
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使用稱重傳感器注意事項

電阻應變式稱重傳感器本身是一種堅固、耐用、可靠的機電產(chǎn)品。但為了保證測試精度，我們?nèi)杂性S多在使用中要注...
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基于低壓驅(qū)動RF MEMS開關(guān)的MEMS開關(guān)改進

近年來射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是...
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低壓驅(qū)動RF MEMS開關(guān)設(shè)計與模擬--用于MEMS開關(guān)缺陷的改進

近年來射頻微電子系統(tǒng)(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注，特別是MEMS開關(guān)構(gòu)建的移相器與天線，是...
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MEMS壓力傳感器及其應用

簡述MEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理，并探討了其應用、壓力傳感器Die的設(shè)計及生產(chǎn)成本分析，覆蓋了從系統(tǒng)應用到銷售鏈。
關(guān)鍵字：華潤矽威集成電路 MEMS壓力傳感器惠斯頓電橋硅薄膜應力杯硅壓阻式壓力傳感器硅電容式壓力傳感器 200906

解析Microvision單鏡面MEMS芯片技術(shù)

通過利用大批量生產(chǎn)的液晶面板(LCD)技術(shù)來代替視圖，數(shù)字投影機給移動演示帶來了革命性變化，使高輸出電燈泡能...
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一種新型MEMS微波功率傳感器的設(shè)計與模擬

摘要：提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)，與傳統(tǒng)傳感器相比，新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而...
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將MEMS傳感器用于各種創(chuàng)新的消費類產(chǎn)品設(shè)計解析

MEMS即微機電系統(tǒng)，是利用微米級立體結(jié)構(gòu)實現(xiàn)感應和執(zhí)行功能的一項關(guān)鍵技術(shù)。其中，微米級立體結(jié)構(gòu)是利用被稱為...
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利用MEMS構(gòu)建多信道可調(diào)色散補償儀

在高速DWDM系統(tǒng)中，傳輸信道的色散會因溫差而產(chǎn)生變化，使得傳統(tǒng)色散補償光纖難于應付。本文介紹了一種基于MEMS...
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用可編程模擬電路實現(xiàn)MEMS陀螺儀測量系統(tǒng)

LeonFoucault在1852年發(fā)明了世界首個陀螺儀，這種傳統(tǒng)的機械式陀螺儀如圖1所示。Foucault認為，利用固定位置上...
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利用MEMS麥克風改善移動設(shè)備聲學性能

MEMS(微型機電系統(tǒng))麥克風外形較小，與目前廣泛采用的駐極體麥克風相比，具備更強的耐熱、抗振和防射頻干擾性能...
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mems壓力傳感器介紹

硅直接鍵合技術(shù)廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術(shù)制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為： [ 查看詳細 ]

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