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	mems壓力傳感器
          

          
	
          
    	
          
    	  	
          
              	
          
                	
          mems壓力傳感器 文章
                  進入mems壓力傳感器技術社區(qū)  
                  
          
                
          
                                
          
                  

                                
          
                    
          擠出生產(chǎn)線中的熔體壓力傳感器
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          光柵線位移傳感器的結構原理和安裝與維護
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          容柵測量系統(tǒng)及其應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          超聲波傳感器概述
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          制漿造紙過程中pH傳感器的清洗
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          航海系統(tǒng)中的雙傳感器航星計程儀測試系統(tǒng)
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          國際智慧型纖維復合材料的研發(fā)進展
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          超聲波物位檢測儀的原理及應用
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          基于多傳感器的電梯群控系統(tǒng)研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          一種新型的轉子旋轉速度大小及方向的測量裝置
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          無線傳感器網(wǎng)絡技術研究
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          固態(tài)壓阻壓力傳感器應用指南
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          吹膜機溫度指標及控制方法
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          變送器產(chǎn)品分類及選擇分析
          
                                                            
                    
          
                
          
                                
          
                    
          TURCK的levelprox系列傳感器應用工業(yè)中的液位檢測
          
                                                            
                    
          
                
          
                                                

                
          
	                
          
		                	
          
	
          
	共209條
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          mems壓力傳感器介紹
          
      			
          
		      	
          
		      			      			      	硅直接鍵合技術廣泛應用于壓力傳感器和加速度計，是一種制備密封腔的重要的工藝手段。硅-硅直接鍵合技術制備壓力傳感器具有很大的優(yōu)勢：成本低，應力小，性能高，可以大規(guī)模生產(chǎn)。壓力傳感器分為兩種，一種是基于壓阻的變化，一種是基于電容的改變。壓阻式壓力傳感器是在密封腔上面懸空的硅層上制備壓敏電阻，隨著壓力的變化，硅膜的應力變化，相應的壓阻發(fā)生變化，鍵合壓阻式壓力傳感器如圖1.19所示。主要的工藝工藝步驟為：		      	[ 查看詳細 ]
		      			      	
          
    		
          
  		
          
  		  		  		  		  		        		  		
          
    		
          
      			
          
        			
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